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MnGe稀磁半导体研究.pdf
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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!! #$% ! 稀磁半导体薄膜的结构研究!
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孙 玉 孙治湖 朱三元 史同飞
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叶 剑 潘志云 刘文汉 韦世强
!）（中国科学技术大学国家同步辐射实验室，合肥 $%% ）
）（中国科学技术大学物理系，合肥 $%%’ ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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利用 射线衍射（ ）和 射线吸收精细结构（ ）方法研究了磁控共溅射方法制备的 薄膜样品
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的结构随掺杂磁性原子 含量的变化规律 结果表明，在 的含量较低（ ）的 样品中，只能
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观察到对应于多晶 的 衍射峰，而对 含量较高（ ， ）的 和 样品则明显出
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