光电自准直仪工作原理及误差源分析.pdfVIP

第! 卷专刊 大 地 测 量 与地 球 动 力 学 5678 ! 09:;8 ! # # 年$ 月 %’()*+ , -./.01 *)/ -./1)*2340 %=: ，!## 文章编号：?$ ?@ABC! （!## ）09:;8 @##BD@#E !! 光电自准直仪工作原理及误差源分析# ?，! ） ?，! ） ?，! ） ?，! ） 欧同庚 陈志高 杨博雄 付辉清 ( ? ）中国地震局地震研究所，武汉 CE## ? ) ! ）地壳运动与地球观测实验室，武汉 CE## ? 摘 要 主要介绍了44/ 光电自准直仪的工作原理并进行了误差源分析。 关键词 44/ 光电自准直仪 工作原理 误差 分析 中图分类号：F!#C 文献标识码：* #$%’()*+ $)*!)$,% ’* %# -#.!% #/ ’ *%0 (1$% #/ !! $2#(#%,%!()! ’.(#!#,,)3’(# = G6HH:H?，! ），4I: JIKHL6?，! ），1LH M6NK6H?，! ）LO ,= I=KPKH?，! ） ( ? ）!#$%$$’ () *’%#+(,(-. ，/01 ，234 CE## ? ) ! ）/5#$4, 6(7’+’$ 849(54,(5. ，234 CE## ? ’4567896 GI: 69:QLRKH 9QK;K97: 6S RI: :T@RU9: 9I6R6:7:;RQK; L=R6;677KVLR6Q KW KRQ6O=;:O LO KRW :QQ6QW KW LL7UX:O8 :; =7?5 ：44/（4ILQH:O 46=97: /:YK;: ），9I6R6:7:;RQK; L=R6;677KVLR6Q ，:QQ6Q ，69:QLRKH 9QK;K97: ，LL7UWKW @A 前言 BA !! 光电自准直仪工作原理 自准直仪是利用光学自准直原理，利用小角度 44/ 光电自准直仪是根据光学自准直原理，以 测量或可转换为小角度测量的一种常用技术测试仪 线阵44/ 为传感器，利用 44/ 器件本身的像素扫 器，它被广泛用于角度测量、导轨的平直度和平行度 描来测量自准直像的位置，采用*Z / 变换器对目标 测量、台面的平整度测量、精密定位、自动角度定位 信号进行采集，并用/0F 芯片实时处理采集的大量 环集成等方面，是机械制造、造船、航空航天、计量测 数据，同时通过显示器输出处理结果，从而使精度及 试、科学研究等部门必备的常规测量仪器，特别是在 稳定性均达到新的水平。 精密、超精密定位方面，更有不可替代的作用。随着 其工作原理如图? 所示。将线阵44/ 器件放 电荷耦合器件44/ 越来越广泛地应用于光学图像 在自准直仪物镜的焦面上，光源发出的光经过物镜 的识别与处理中，将高分辨力的44/ 摄像器件引入 后形成一束平行光束照射在平面反射镜上，如果平 光电自准直仪，是进行弱信号处理的发展趋势。 面反射镜垂直于物镜光轴，则反射光线按原路返回， 经过物镜后，成像