SPAM试样振动模式下系统频率特性的模拟与仿真计算.pdfVIP

第28卷第6期 声学技术 V01．28．No．6Pt．2 2009年12月 TechnicalAcoustics Dec．，2009 SPAM试样振动模式下系统频率特性的模拟与仿真计算 赵亚军，程茜，钱梦脲忡 (同济大学声学研究所，上海200092) andSimulationthe Charactersin Modeling Frequency Tip-·sample ofthe ProbeAcoustic SystemScanning Microscope ZHAO Va-jun，CHENGQian，QIAN Meng—lu聋★ (／nst／tuteofAcoustics,ron面iUniversity,Shtmghai 200092,China) 表示试样在压电振动台作用下的位移，zl则表示探 1 引言 针的位移。 近年来，扫描探针声显微镜(sPAM)作为一 种新的成像技术已经在很多应用领域被关注。 SP：AM的试样振动模式是一种将声学激励系统集成 于扫描探针显微镜(SPM)的试样下面的成像技术。 该成像系统在待扫描试样下方集成一个压电振动 7．I 台，该压电振动台产生声激励，声波经试样传播后 由试样上表面的探针检测接收，从而形成SPAM像。 SPAM成像技术除了可以对试样的表面进行成像以 外，还可以对材料的亚表面、微结构、材料微区的 力学特征以及铁电材料的电畴等进行纳米尺度的 表征【l叫。在已有的实验结果中，有些是利用高频激 励得到比较好的成像结果，有些则是利用低频激励 图I探针-i式t羊系统的质量一弹簧一阻尼模型 得到比较好的结果。但是由于SPAM的试样激励模 The model Fig．1 Mass·Spmg—Dampingoftip-aamplesystem． 式F探针与试样所构成的系统的复杂性，至今仍没 有对其成像机理及成像分辨率给出合理的解释。 可将图1所示的探针一试样组成的振动系统集 本文将建立探针．试样系统的集中参量模型，通 中参量模型用阻抗型等效电路表示，电路图如图2。 L2 L1 过Multisim软件对该模型的等效电路进行频率特征 曲线的仿真计算。频率特征曲线的获得将有助于指 导及分析实验，从而提高SPAM的成像效果。 2等效电路模型 当试样以远低于SPAM悬臂的一阶谐振频率作 简谐振动时，由探针一试样组成的振动系统可以用 集中等效参量来描述，如图1。其中蚴、硒和尺1 分别为探针的质量、弹性常数以及阻尼，M2、鹧 图2集中参量模型的等效电路 The cil-cttitofthe model 和尺2则分别为试样的质量、弹性常数以及阻尼。， F嘻2 equivalent Mass-Spring—Damping 是压电振