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第 36卷第 12期 同济 大 学 学报 (自然 科 学 版) Vo1．36No．12 2008年 12月 JOURNALOFTONGJIUNIVERSITY(NATURALSCIENCE) Dec，2008 Petri网技术在半导体生产线建模 中的应用 曹政才 一，乔 非2，吴启迪2 (1．北京化工大学信息科学与技术学院，北京 100029；2．同济大学 CIMS研究中心，上海200092) 摘要：综述了Pe廿i网在半导体生产线优化调度领域应用的最新研究进展，涉及半导体生产线主要特征、建模方法、 Petri网类型、调度策略及具体应用等问题 ，并指出这一领域值得进一步研究的问题和可能的发展方向． 关键词：半导体生产线；Petri网；建模 ；调度 中图分类号：TP278 文献标识码：A 文章编号：0253—374X(2008)12—1707—05 ApplicationofPetri—netTechnique inModelingof SemiconductorWaferFabrication CAOZhengcai，一，QIAOFei。， Qidi (1．CollegeofInformationScienceandTechnology，BeijingUniversityofCh~nicalTcehnology，Beijing100029，China 2．CIMSResearchCenter，Ton~iUniversity，Shnaghai200092，China) Abstract：TherecentresearchprogressofPetri．net．．basedmodelingforsemiconductorwaferfabrication ispresented，includingtheimportantchraacteristicsofsemiconductorwaferfabrication，modeling ap— proach，modesofPetri—net，schedulingmethodsandrealapplication．Finally，thepaperpresentssome problemsworthyoffurtherstudyandprobablydevelopingtrendsinthesemiconductormanufacturing field． Keywords：semiconductorwaferfabrication；Petri—net；modeling；scheduling 半导体生产线属于继作业车间和流水车间后发 优化调度的一个重要因素．本文主要对半导体生产 展起来的第三类生产系统——多重人生产系统，该 线建模技术进行研究，详细介绍了半导体生产线的 系统具有可重人性、成批工具群、不确定性、混合加 特征、Petri网建模技术及相应优化调度算法． 工、设备负载不均衡等特点l3_，由此造成半导体生 产线存在不确定、大规模、复杂的调度环境 ，给半导 1 半导体生产线建模方法 体生产线建模带来很大的困难．研究这样的复杂系 统需要借助抽象化模型语言准确描述系统行为特征 半导体制造系统由于规模大、设备昂贵、种类 及变化规律，在研究模型的基础上可以对半导体制 多、产品繁多、工艺流程复杂等，其调度问题一般需 造过程的特征和行为加以分析和提炼，而分析的结 要进行建模研究．常用的建模方法可分为两类[]： 果又可以作为模型改进和调度方法研究的依据．因 一 类是基于运筹学的方法，另一类是基于离散事件 此有效建模工具和建模方法是实现半导体制造过程