第二章(测量技术基础).pptVIP

§3 长度测量基础 光电光波比长仪 激光光波比长仪实质上就是一个以激光器作光源的干涉仪，其简化结构如图4.1.2－10，光源1是一台单模稳频的氦—氖气体激光器，它发出的激光到达干涉仪中的半透半反镜M后，被分成两光束A和B。这两束光分别经全反射镜MA和MB反射后，汇合到光电倍增管3上。这两束光所走过的光程(路程)是不同的，因此产生干涉若把反射镜MA固定，则光束A的光程不变。镜MB固定在可移动的平台8上，它与待测物体7一起移动，这样就改变了光束B的光程。当平台移动半个波长(λ／2)时，光束B往返的光程改变了1λ，于涉 条纹变化一周期。平台连续移动，干涉条纹将明暗交替变化，这种明暗变化被光电倍增管3所接收，并转换为电量的变化，再经过计数电路4，将干涉条纹的变化数记录下来。这时待测物体的长度可按下式计算而得 l＝N·λ/2 式中 l——待测物体的长度； λ——光的波长； N ——计数器测得的脉冲数。 三、量值传递 1．组织保证： 国家质量技术监督局——省质量技术监督局——地（市）质量技术监督局——工厂企业。 2．技术保证： 采用检定规程（它规定了检定用的仪器，方法，环境要求） 测量的基本原则 1、基准统一原则，各种基准原则上应该一致。设计，装配，加工，测量(注塑机NOZZLE的；键槽) 2、最小变形原则，被测工件与测量器具之间的相对变形最小。 3、最短链原则，连接被测工件与测量器具的测头之间的组成环节最少 4、阿贝（Enst Abbe）原则，工件的被测量与测量器具的测头标尺应该在一条直线上或在延长线上。（进而形成阿贝-布来恩J. B. Bryan建议 P25）（卡尺；荷兰的0.1um的CMM） 5、闭合原则，在圆周封闭测量中，累积误差为零，例如：齿距累积误差测量，多棱体内角测量 6、重复原则，同一被测量应多次测量，以消除测量误差的影响。 §1-4 测量误差与数据处理 引子：不论测量仪器精度有多高，在测量过程中，由于有各种误差因素的存在，使得测量结果与被测量的真值存在差异， 这个差异我们称之为测量误差 测量误差：测得值减去被测量的真值的代数差 ， 又称绝对误差。绝 对误差与被测量的真值的比值 ， 称为相对误差。当被测量的基本尺寸相同时，可用绝对误差的大小来评定测量精度的高低。绝对误差大，测量精度低，反之则测量精度高。由于测量误差大体上与被测尺寸的大小成正比。当被测量的基本尺寸不同时，可用相对误差 的大小来评定其测量精度。 测量误差可按原因和性质分类 按原因分三种 1．? 测量方法引起的误差。例 2．? 测量器具引起的误差。例 3 ． 主、客观因素引起的误差。例 一、测量误差按性质分类 1．系统误差：系统误差是测量系统本身所固有的因素引起的误差。误差源在测量之前就己存在，并在测量过程中始终以确定的规律影响着测量结果。 系统误差分为定值系统误差和变值系统误差。在相同的条件下，多次测量同一量时．误差的绝对值与符号保持不变，是定值系统误差；或者在相同的条件下 ，按某一确定的规律变化，是变值系统误差。 2．随机误差：在相同条件下，多次重复测量同一量时，误差大小，方向不定。 原因：温度波动，振动，间隙和阻尼等 3．粗大误差：超出规定条件下的允许限制的误差。 原因：主观上的 疏忽——读错，记错和客观上的条件突变。 二、随机误差的处理 1，随机误差的特点P16 a)?????? 单峰性，|vi|大的概率小，|vi|小概率大 b)????? 对称性，|vi|相等的正、负随机误差出现的概率相等 c)????? 有限性，在一定测量条件下，随机误差的分布范围是有限的 我们一般多设定随机误差属于正态分布或C、F、Gauss分布，图1-7。 以正态分布曲线的标准偏差作为评定指标 σ= 如图所示， 标准偏差对随机误差分 布特性的影响 2．随机误差的处理 由概率论可知，多次测量的 平均值 残余误差 随机误差的标准偏差 平均值的标准偏差 式中，n—多次重复测得的次数。 真值 的概率为9.73%。由于小概率的事件不会发生，所以认定 因此，测量结果 另外，P16还讲到