超精密系统中主被动隔振技术的应用及隔振性能测试分析.pdfVIP

超精密系统中主被动隔振技术的应用及 隔振性能测试分析 徐登峰 （ ， !% ） 清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所 北京 ： ， ， 摘 要 首先简述了隔振原理及隔振器的分类 在此基础上介绍了选用隔振器的基本原则 并介绍了世界上 ， 。 几款优秀的隔振器 最后对一款日本明立精机主动隔振平台的隔振效果进行了测试与分析 ： 关键词 被动隔振 主动隔振 隔振器 平台 !#$%’$() (* +(,$’$-. )/ 0.1’$-. 2$34’$() 5,(#’$() 6.%7)(#(18 $) 9#’4 ’ 4.%$,$() :8,’.; )/ 5’, +.4*(4;)%. !)#8,$, () *+,-.+,- （/,012131+ 4. 56,3.671382,- 9,-2,++82,- ，*+:1; 4. 8+72024, /,0183=+,1 6, 567?2,+8@ ， A02,-?36 ),2B+8021@ ，C+2D2,- !% ，EFG ） 、 、/E ， !H ! 。 在超精密加工 检测 制造及光学工程中 环境 图 中曲线 为系统对于地面振动的响应曲线 不可避免会给设备带来了振动， 。 影响设备的正常工作 ， I ， ’ 可以看出 当激振频率大于 !# 时 系统的响应 就 ! 采用隔振设备对来自大地的振动和设备负载的扰动进 小于输入’ 。 ， ! 所以 只要被动隔振器固有频率小于 ， 行有效隔离或衰减非常必要 而且主被动隔振技术混 J KK ， 。 !( 就能实现隔振的目的 合使用更能满足高精度设备对低频和中高频振动隔振 ) 系统传递率 可以表示为 的需求。本文将介绍隔振技术的基本原理和隔振器的 I ! * （I!( % !# ） ， ) $ （I ） 基本分类 并结合典型的高性能隔振系统介绍其实际 I I I I