微细电火花加工技术的研究进展.pdfVIP

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2017-08-17 发布于贵州
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微细电火花加工技术的研究进展.pdf

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13 10 2002 5 : 1004- 132( 2002) 10- 0894- 05 王振龙　赵万生　狄士春　迟关心 : 研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和展趋势。比较分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用, 论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用。结合电火花加工过程中无宏观作用力的特点, 论述了微细电火花加工装置微小型化的可行性和几种主要形式。 : ; ; : T G661: A 20 90 , , , , [ 1] , , , , ( LIGA , ) , , [ 1, 711] 1　微细加工与微细电火花加工 , [ 1, 9] , 3 [ 26] , LIGA 3 , X , LIGA ( lithogra hic, gal- , vanogormung, abformung) , , 500 1000 Lm ; 3 [ 2] [ 10, 12] LIGA , , , LIGA [ 3, 4] 3 , , ( ) , , , , , 0. 1 Lm, LIGA , [ 8] R a 0. 01 Lm [ 3] , LIGA 1/ 10 : 20 : ( 60 Phili s Dsenbruggen 894 WEDG [ 1