微制造系统中的微细电火花加工技术X.pdfVIP

　Special Reports 　综 述 微制造系统中的微细电火花加工技术 Micro EDM Machining Technolgy in Micro Manufacturing System 王振龙 　赵万生 ( 哈尔滨工业大学) 摘 　要 :文章系统地研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势 ,论述了微细电火花加工技术 在微三维结构制作及微制造系统中的应用。 关键词 :微细电火花加工 　微制造 　　现代制造技术的发展呈现两大趋势 ,一是现代制 属于非接触加工 ,一般没有宏观的切削力作用 ,因此在 造系统的自动化技术 ;另一个就是寻求固有制造技术 微小尺度零件的加工中有着不可替代的优越性。 的自身微细加工极限[1 ] 。微型机械中 ,特别是其中的 作为一种实用的微细特种加工技术 ,微细电火花 敏感器件、控制仪表、动力系统、执行机构等关键器件 加工具有设备简单 ,可实施性强等特点 ,其在微细轴、 要使用到大量的微制造技术 ,如微型机器人、微型工 孔加工及微三维结构制作方面已经显示出了相当大的 具、微型飞机等。这些微型机械的需求对现代制造技 发展潜力 ,正受到世界各国学者的普遍关注。 术提出了新的挑战。解决这一制造难题的主要途径有 1 　线电极电火花磨削技术与微细加工 两条 ,一方面是采用微机电系统技术 ,另一方面是采用 微细特种加工技术。 　　1984 年 , 日本东京大学生产技术研究所增泽隆久 从世界范围的微细加工技术的发展应用而言 ,欧 教授等人在电火花反拷加工的基础上 ,利用线状电极 ( ) 美等国倾向于硅微结构的制作 ,即微细电子机械领域; 替代反拷块 ,研制成功了线电极电火花磨削 WED G 而日本则更注重用传统的加工方法和特种加工方法从 技术[4 ] , 其工作原理如图 1 ( 所示。电火花磨削过程中 , 宏观尺寸零件的加工向微观尺度的零件加工逼近 如 微小齿轮、微小模具、微细轴、孔等) [2 ,3 ] 。 线状电极在导向器上连续移 微机电系统技术是基于半导体平面工艺的一种加 动 ,导向器沿工件的径向作 工方法 ,适合于将微传感器、微执行器、信息处理器件 微进给 , 而工具电极随主轴 集成于一个微小单元。从工艺角度上看有集成度高、 旋转的同时作轴向进给。通 便于大批量生产等优点。但是这种方法难以加工出真 过控制工具电极的旋转与分 三维曲面形状 ,也难以处理各种性能卓越的金属材料 , 度 ,WED G 不仅可以加工出 特别是一些极限作业环境下所要求的高强度、高韧性、 圆柱状电极 ,还可加工出多 高耐磨、耐高温、耐冲击、抗疲劳等性能 ,一般单一的半 边形、螺旋形等形状的电极 ,这为微细电火花加工各种 导体材料是很难达到的。因此其应用范围受到了一定 复杂形状的型腔提供了极为有利的工具。由于线电极 限制。国外目前采取了微机电系统与微细加工并重的 电火花磨削过程中,线电极与工件间为点接触放电 ,易 策略 , 以充分发挥各种加工方法的优点。