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太阳电池制造过程中的测试工艺.pdf
制 造 技 术 袁 镇等 :太阳电池制造过程中的测试工艺
太阳电池制造过程中的测试工艺
袁 镇 ,贺立龙
( ( ) )
西安创联电气科技 集团 有限责任公司 陕西 西安 7 10065
摘 要 :太阳能电池是把太阳能转化为电能的装置 ,一般的太阳能电池是用半导体材料制成的。按照晶体硅太阳电池
制造的工艺流程 ,对太阳电池制造过程中各工序之间的测试项 目进行了介绍 。同时 ,介绍了各测试项 目的测试设备 、测试原
理以及测试过程 。
关键词 :太阳电池 ;绒面 ;扩散 ;减反射膜
+ ( )
中图分类号 : TP274 . 5 文献标识码 :B 文章编号 : 1004373X 2007 1218603
The Testing Process in the Fabrication of Solar Cells
YU AN Zhen , H E Lilong
(Xi′an Chuanglian Elect ronic Component ( Group) Co . L t d. ,Xi′an ,7 10065 ,China)
Ab stract :Solar cell i s a piece of equip ment ,which makes u se of solar ener gy and i s made of semiconductor . Accor ding to
t he fabrication p rocess of solar cell s ,int ro duces t he t esting it em s among p rocesses in t hi s p ap er . Simult aneit y ,int roduces t he
mea surement equip ment s ,measurement p rinciples and p rocess in t hese t esting it em s.
Keywords :solar cell s ;t ext ured surface ;diffu sion ;antireflecting film
晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括硅 层方块电阻、结深的原理和方法在太阳电池生产中是非常
(
片清洗 、绒面制备 、扩散制结、等离子周边刻蚀 、去 PSG 磷 重要的。将 PN 结材料表面到 PN 结界面的距离称为 P
) (
硅玻璃 、P ECVD 减反射膜制备 、电极 背面电极 、铝背场 N 结结深 。
)
和争相电极 印刷及烘干 、烧结和分档测试等 。同时 ,在各 2 . 1 测方块电阻
工序之间还有检测项 目,主要有抽样检测制绒效果、抽样 在制作太阳电池时 ,一定形状的上电极总需要一定范
测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射率等项
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