大面积3D有序介孔二氧化钛薄膜光子晶体制备与性能研究.pdfVIP

第20卷第6期 无机材料学报 V01．20，NO．6 of 2005年11月 Journal Materials NOV．。2005 Inorganic 文章编号：1000—324X(2005)06—1463—04 大面积3D有序介孔二氧化钛薄膜光子晶体制备与性能研究 Vo—Van2 胡行方1，快素兰2，于云1，Troung (1．中国科学院上海硅酸盐研究所，上海200050；2．Physics of NBEIA Moncton，Canada3E9) 摘 要：介绍了大面积有序反蛋白石结构介孔二氧化钛薄膜光子晶体制备与性能研究的进 展．为了保证二氧化钛骨架结构的稳定性和有序度，从而使氧化钛介孔薄膜达到大面积结构均 匀，在介孔薄膜制备过程中采用了几种新的工艺方法，其中包括二氧化硅晶体模板的应用和用 NaOH溶液代替常用的HF溶液作为模板去除剂．制备的介孔二氧化钛薄膜光子晶体的面积达 到厘米尺寸，二氧化钛骨架的填充率达到17．4％，薄膜制备过程中的收缩率3％．薄膜透射光 谱研究结果表明，这种大面积3D有序的反蛋白石结构介孔二氧化钛薄膜具有非常优良的光子 带隙特性，有望成为一类具有非常好的发展和应用前景的光子晶体材料． 关键词：3D有序结构；反蛋白石结构；二氧化钛薄膜光子晶体 中图分类号：O734 文献标识码：A 1引言 指出介电函数在空间的周期性调制能够改变材料中光子状态的模式[1]．光子晶体中由于光 子带隙的存在，产生了很多全新的物理性质和现象，从而显示出非常宽广的发展和应用前 景．目前，光子晶体已成为物理学和材料科学的研究热点，发展迅速．在众多光子晶体的制 备方法中，胶体晶体模板法制备光子晶体的工艺被认为最为简便和有效，也最有发展和应 用前景【2|．但用这种工艺制备光子晶体时，最具挑战性的一个问题是有序薄膜光子晶体的 大面积制备．本文介绍了我们采用二氧化硅胶体晶体作为模板制备大面积3D有序反蛋白 石结构二氧化钛介孔薄膜光子晶体的进展．薄膜光学性能研究表明，这种3D有序介孔薄膜 光子晶体具有优良的光子带隙特性． 2实验方法 2．1 Si02胶体晶体模板制备 采用直径为309nm的单分散氧化硅微球悬浮液，通过垂直沉积组装工艺在玻璃基底上 沉积有序结构的氧化硅微球沉积层，形成有序模板素胚．然后在600。C烧结1h，使氧化硅微 球之间形成结合颈，以提高后处理时模板强度和模板的可去除性． 2．2 Ti02溶胶与Ti02薄膜光子晶体制备 收稿日期：2004—10-29，收到修改稿日期：2005—01-27 E—mail：xhusic@mail．sic．aC．cn 作者简介：胡行方(1936一)，男，研究员． 万方数据 1464 无机材料学报 20卷 将钛酸异丙酯(titanium 乙醇、和去离子水按一定分子比进行混合，制成溶胶【5】．将上述模板垂直浸入溶胶中，通过 石结构介孑L二氧化钛薄膜光子晶体． 2．3结构和性能表征 500分光光度计对上述薄膜光子晶体的结构进行表征，系 用JSM5200扫描电镜和Carry 统地研究薄膜沉积工艺参数对薄膜的结构和光学性能的影响． 3结果和讨论 3．1介孔结构 结构的扫描电镜照片．如何获得高质量的有 序氧化硅胶体晶体模板我们已在引文[3]中