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器件 的执行器也做在硅 片上 。 这 就是说
微 电子 技 术和 与其相容 的微加工技术相
结 合 可 大 批 量 低 成 本 的 生 产 硅 基
。
的 统 技 为何要 强 调微加工 技术要 与微 电子
崭新 机 术
微 电
系
技术相 容 这是 因为微 电子技术 的突 出
特 点是可 以大批 量 生 产 大批 量 生 产 的
徐毓龙 徐玉 成 成本低 , 为大 量应用 创 造 了条件 。 大量
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