光电检测技术及应用 教学配套课件 徐熙平 第9章 位移量检测.pdfVIP

《光电检测技术及应用》 第9章 位移量检测 任课教师：徐熙平 2013年6 月6 日星期四 目 录 9.1 激光干涉位移检测 激光干涉原理、激光干涉仪 9.2 光栅线位移检测 光栅尺、光源和光强调制、前置放大器 9.3 光栅角位移检测 编码器、读数和细分、狭缝及光电信号、编码器误 差 9.4 轴向位移测量 9.5 激光测距 脉冲法、相位法、典型测距仪 第9章 位移量检测 直线位移 位移量 角位移 磁电式（如磁栅传感器） 转换原理 电磁式（如感应同步传感器） 光电式（如光栅传感器） 第9章 位移量检测 一、激光干涉位移检测 1、激光干涉原理 两光波相干的条件： •两列波振动方向相同，即两光波的振幅矢量平行。 •两光波频率相同。 •两光波动位移相同或初位相差恒定。 2π I I I 2 I I cos 1 2 1 2  2π 2π cos 1 0, 2π, 4π, 6π,... 1）干涉光的光强最大值条件是 ，即       K (K 0,1, 2,3,...) 。即干涉光强为： I max I1 I 2 2 I1 I 2 ( I1  I 2 )2 第9章 位移量检测 一、激光干涉位移检测 2π 2π cos 1 π, 3π, 5π,... 2）干涉光的光强最小值条件是  ，即       (2K 1) (K 0,1, 2,3,...) 。即干涉光强为： 2 I min I1 I 2 2 I1 I 2 ( I1  I 2 )2 干涉条纹的数目与光程差成正比，即： 。  n 两相干光的光强相等时， 2π I I I k cos 0 0  I I  2I I K max min 1 2