081219-5MW非晶硅生产线核心设备与配套设备技术明细表.docVIP

5MW非晶硅光伏组件生产线设备分项明细表 序号 设备名称 数量 产能 设备主要技术规格 到货期 1 前处理设备 1－1 玻璃切割机 1 单台日处理组件能力：》200 高速单刀自动玻璃切割，切割精度《0.2mm. 用于特殊应用需要的玻璃与组件封装前的分割。被加工玻璃尺寸：》1245 x 635 mm，精度《0.2mm 6个月 1－2 磨边机 2 单台日处理组件能力：》200 双磨头对称磨边，后道磨边含磨倒角功能，同时包括前道磨边输送平台，两台磨边机之间90度自动转向台，后道磨边与清洗机间的输送平台。被加工玻璃尺寸：》1245 x 635 mm 6个月 1－3 清洗设备 1 单台日处理组件能力：》400 洗涤－自来水－去离子水初洗－去离子水终洗 4道清洗工艺，含热风干燥，与磨边机直接配套 被加工玻璃尺寸：》1245 x 635 mm 6个月 1－4 玻璃打孔机 1 单台日处理组件能力：》400 玻璃磨孔，冷却方式：水冷。用于背玻璃电极汇流箔带的引出。被加工玻璃尺寸：》1245 x 635 mm, 6个月 2 半导体器件制备设备 2－1 非晶硅半导体薄膜沉积系统 2 单台日处理组件能力：》200 PECVD沉积（双节非晶硅沉积技术）设备,是本生产线最核心的设备并包含最核心的工艺技术。设备组成：真空室，真空系统，电极盒， 电极盒承载输送专用车，工件承载输送专