基于WO3%2fNiO-%2cx-膜系的固态电致变色器件的探究.pdfVIP

冯博学 等：基于WO /NiO 膜系的固态电致变色器件研究 1413 3 x 基于WO3/NiO 膜系的固态电致变色器件研究* x ∗ 冯博学，何毓阳，陈 冲，伞海生 刘化然，张 欣，刘金良，唐为国，尹经敏 （兰州大学教育部应用磁学与磁性材料重点实验室，甘肃 兰州 730000 ） 摘 要： 氧化钨和氧化镍是目前研究最多、应用最 膜材料的着色效率。从图 1 可算出 WO3 的 η≈ 2 2 [3] 广的两种电致变色材料。本文详细地介绍了本实验室 50.1cm /C ；NiOx 的η≈27.9 cm /C 。采用阴极EC 膜 射频溅射WO 和NiO 薄膜的制备和性能以及以它们 （WO ）与阳极EC 膜（NiO ）相结合的膜系构造， 3 x 3 x 为基的夹层式固态电致变色器件的制作和性能。 组成补偿式电致变色器件，可使着褪色程度得到加 关键词：WO3 ；NiOx ；电致变色；射频溅射；电解质 强。 中图分类号：O 484 文献识别码：A 电致变色效应就是一种在电场或电流作用下产 文章编号：1001-9731 （2004 ）增刊 生的可逆变色现象，是由于电化学反应生成有色化合 物或是形成了色心。电致变色薄膜通过离子的注入和 1 引 言 抽取产生着色或退色现象。 电致变色是指施加一个电压差而导致物质颜色 发生变化的过程。电致变色器件由于具有着色前后能 量透射比相差较大（实用化需达到 4: 1 以上）、调节 简单、驱动电压低（1～2V ）、有存储功能且存储时不 消耗电能、工作温度范围宽（-50～100℃）等优点， 因此可广泛地应用于有光透射率变化的电控玻璃窗； 汽车等交通工具的后视镜的自动光强调节以及挡风 玻璃；眼镜片；电子书显示；大面积、高对比度、高 分辨率、无视角差的显示屏及光电化学能的转换与存 贮等领域，并可与光电控制相结合，具有很大的应用 和技术发展前景。 2 WO 、NiO 薄膜的电致变色机制及 图1 光密变化量与注入电荷量的关系曲线 3 x 性能研究 Fig 1 Relationship between ∆OD and rejected charge Q 本实验室采用的溅射设备是国产 JS-450 型磁控 WO 和NiO 是很重要的两种电致变色层（EC ） 射频溅射台。基底为厚约 500～600nm 的ITO(In O : 3 x 2 3 材料。这是由于它们具有高的变色效率、响应时间快、 SnO2=7%)透明导电玻璃,方块电阻15 Ω/ □，可见光平 电化学可逆性好和成本相对较低等优点[1,2] 。电致变 均透光率约为 80% ，并利用掩模技术在基底上留窗 色的着色效率由下式确定：η(k)=∆OD( λ) /Q ，其中