机械力活化在氮化铝陶瓷制备中的作用的探究.pdfVIP

机械力活化在氮化铝陶瓷制各中的作用研究 席生岐李鹏亮周敬恩王景朱蕊花 金属材料强度国家重点实验室西安交通大学材料科学与工程学院 陕西西安710049 ℃碳热还原反应即可完全，生成高纯度纳米级的AIN粉末．对市售AIN粉末进行不同时同球磨结果表明， 高能球磨对A1N晶粒和颗粒具有明显细化效果，并且引入了品格畸变．随着球磨时间的延长，粉末中铁 杂质含量增加．利用放电等离子活化烧结技术对不同颗粒尺寸和铁含量AIN粉末进行了热压烧结试验． 结果表明，高能球磨的颗粒细化作用和引入的晶格畸变提高了粉末的活性，使得添加3％Y20，的AIN粉 末在低予1600C即可实现烧结致密化．杂质铁在烧结过程中与AIz0，以及Y20，反应，也是降低烧结温度， 提高AIN陶瓷致密度的重要因素．以上结果表明，机械力活化合成A1N粉末是降低合成温度，缩短反应 时间以及降低随后氮化铝陶瓷烧结温度的经济有效的技术． 关键词： 氮化铝，碳热还原反应，高能球磨，铁污染，烧结c 0．前言 当今整个电子器件的基本发展趋势是高密度、多功能、快速化和大功率。目前国内超大规模集成电 路的布线宽度已进入亚微米(O．5’1呻)级并向深