一种新型TiO-%2c2-氧化物薄膜的试验研究.pdfVIP

一种新型TiO：氧化物薄膜的试验研究 孙宝臣杜彦良赵田臣 石家庄铁道学院石家庄北环东路15号050043 摘要本文根据成膜原理和Ti02的特性，提出了～种新型的TJO：薄膜成型技术，并对其综覆工艺、结合 强度进行了试验研究．结果表明，本文所研制的TiO，薄膜具有工艺简单，性能优良，成本低廉的优点．可 广泛应用于机械零件、电气元件表面的耐磨、耐腐、防热绝热、电绝缘等防护处理。 关键词氧化物薄膜Tjq结合强度 1 前 言 表面薄膜技术由于可赋予材料特殊的物理化学性能和力学性能(例如，减摩耐磨，抗腐 蚀，抗氧化，电绝缘，电磁屏蔽等)，近年来得到国内外学者的高度重视，并发展了各种表 面薄膜成型技术和系列薄膜产品【1】。然而，传统的表面薄膜成型技术主要是采用物理气相沉 积、化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积等等，这些均需要昂贵的设备和严格的工艺 条件来保证，不利于广泛推广应用，并且成膜的价格也比较昂贵。所以，限制了表面薄膜技 术的实际应用。 本文设计了一种特殊的TiO：氧化物溶液，该溶液可以像油漆一样均匀涂覆在零件表面 再经过一定的预处理和固化处理，便可形成一层结合牢固、均匀致密的TiO：氧化物薄膜。 为了验证其技术的可行性及其使用价值，我们对TiO，氧化物薄膜的涂覆工艺、结合强度等 进行了试验研究，以为该技术的实际推广应用奠定基础。 2 Ti0，氧化物薄膜的制备工艺 根据氧化物的成膜原理和TiO：氧化物的特性，本试验利用一种特殊的液体载体，将Ti02 溶解其中，制成TiO：氧化物溶液。将该溶解涂覆在零件表面，经过一定的处理后，便可形 氧化物薄膜的基体材料，其具体工艺过程如下： (I)将基体材料Q235钢试样表面粗磨、精磨，最后在抛光机上进行镜面抛光。 (2)用丙酮清洗试样表面．以去除油污及杂物。 (3)采用电刷镀笔蘸取Ti02溶液，对试样表面进行涂覆。 (4)将试样加热到lOOC，保温5分钟，然后炉冷至室温，以使溶液中的有机物挥发， Ti02溶液初步固化。 (5)将试样以20C／分钟的升温速度加热到5004C，保温30分钟，然后炉冷至室温。此 时，Ti02全部沉积在试样表面，形成一种均匀致密的氧化物薄膜。 (6)如果需要较厚的涂层，可重复进行上述步骤，以达到规定的涂层厚度。 3性能试验及结果分析 衡量涂层质量最关键的性能指标是涂层与基体材料的结合强度及其涂层的均匀致密程 度。因此我们分别进行了法向结合强度和剪切结台强度试验，并应用扫描电镜观察了界面的 微观形貌。 3．1法向结合强度试验 法向结合强度试验采用如图1的试样结构将圆柱棒1、2表面处理后，Ti02氧化物溶液 涂覆在圆柱棒l上，将圆柱棒2对接在圆柱棒1上，采用特制夹具将其固定好，放入热处理 206 炉进行固化和沉积处理，使圆柱棒1和圆柱棒2依靠TiO：薄膜的结合特性牢固结合成一体。 薄膜的厚度。其试验结果如表1所示，拉伸试验时，试样均从界面处断裂。 图1法向结合强度试验原理图 表I法向结合强度试验结累 试验号 1 2 5 6 7 8 9 涂县厚度(urn) 3 38 342 331 656 673 67I 920 928 935 结合强度(MPa) 246 ：42 250 2I6 208 2l3 187 190 】86 平均值(MPa) 24．6 2l2 188 从表I可以看出：涂层越厚，则结合强度越低，这可能是由于涂层越厚，其内应力越大 所致【21。当涂层的厚度为3．3l～3 观形貌，其中基体为铁素体+珠光体的混合组织，TiO，薄膜为白色带状。TiO：薄膜均匀致 密，与基体结合紧密，这也是结合强度较高的主要原因。 3．2剪切结合强度