改良西门子法制备三氯氢硅工艺的改进技术.pdfVIP

第 11期 中国氯碱 No．11 18 2011年 11月 ChinaChlor—Alkali NOV．．2Ol1 改良西门子法制备三氯氢硅工艺的改进技术 史振 国．史宝贵 (焦作煤业(集团)开元化工有限责任公司，河南 焦作 454150) 摘 要 ：介绍 了目前国内三氯氢硅生产的X-艺技术及改进 内容 。 关键词 ：三氯氢硅 ；工艺；改进 中图分类号：TQ127．2 文献标识码 ：B 文章编号：1009—1785(2011)11-0018—02 Innovationtechnologyoftrichlorosilanepreparation bymodifiedSiemensprocess SHIZhen-guo，。5HIBan-gui (JiaozuoCoalIndustry(Group)KaiyuanChemicalCo．，Ltd．，Jiaozuo454150，China) Abstract：The production process oftrichlorosilane atpresentin domestic and itsinnovation were introduced． Keywords：trichlorosilane；process；innovation 改 良西门子法制备三氯氢硅是用氯气和氢气合 氯化氢脱水有深冷脱水、浓硫酸脱水 、吸附法脱水 成氯化氢，再将氯化氢和硅粉在一定 的压力温度下 等。吸附法脱水是将上述中的2个方法结合起来的。 合成三氯氢硅(以下简称 TCS)，再经分离、精馏提 1．3 氯化氢的输送 纯。提纯后的TCS产品用于制备高纯多晶硅。 由氯化氢合成送来的氯化氢气体经过远程管道 该生产方法具有高温 、高压 、高耗能、高污染、易 输送 ，到 TCS界 区压力一般为 50kPa左右 ，为了提 燃 、易爆等缺点。随着国内光伏产业需求的 日益扩 高产能，采用二次加压法 ．即用透平机等将氯化氢气 大，TCS的需求也在逐年倍增 。各TCS生产厂家在 体增压至 0．1～0．2MPa以提高TCS产率 ，亦称加压 不断的扩建、生产过程中，对工艺技术持续改进。 合成 TCS。 l 氯化氢工艺的改进 2 TCS合成工艺的改进 国内TCS生产厂家大多依附于氯碱企业 ．以便 2。1 沸腾床合成炉 利用氯碱生产的氯化氢气体 ，通过输送、脱水、加热 为了提高反应产率 、减少反应气中的粉尘及炉 等工艺实现氯化氢与硅粉反应所需条件．个别厂家 体清理频次 ，对沸腾床合成炉作如下改进。 采用 自制氢气和外购液氯气化合成氯化氢气体。 (1)炉体加热方式 由水改为导热油或电加热。目 1．1 氯化氢提纯 前，国内以导热油加热居多，有单炉用单套油加热装 氯化氢纯度是影响TCS产品质量的重要因素。 置 ，也有多炉公用 1套油加热装置 。后者与前者相 比 目前。提高氯化氢纯度大多采用 2种方法，一是采用 虽然省能耗 ，但万一该油装置出现故障将会引起全 先进合成技术，俄罗斯的氯化氢合成工艺能将氯化 部停产 。油管布置有直管 内套或曲管内套 ，炉体外套 氢纯度提高99．9％；二是结合盐酸解析技术，将氯化 油管大多采用半 圆管式。 氢纯度提高到96％左右 。