微型薄膜电阻传感器与应用及动态温度与测试方法.pdfVIP

微型薄膜电阻传感器的应用及其动态温度的测试方法 贾丹平 伞宏力 林应文 沈阳工业大学， 辽宁沈阳110870 摘要：基于薄膜电阻的快速响应优势及测试上的难题，着重进行了两方面的分析研究： 一是采用薄膜电阻作为电流传感器，应用在高压直流互感器上，对薄膜电阻的结构、性能进 行了分析与仿真；二是采用间接测温法实现对薄膜电阻温度动态特性测试，解决了当前快速 测温的难题。采用多指数谱分析法分析薄膜电阻温度动态特性曲线，用谱特性描述薄膜电阻 微细结构的热特征，并从综合的测试结果中，分离出更多微细结构的测试信息，以指导薄膜 电阻结构的改进。 关键词：薄膜电阻；温度；动态特性；谱特性 ．的应用，二 呵疋7了血§Ⅲ E与散热基 下境温度{}l 呈 的建立 }舟 士碉 C l升温速度为如 ．，则测温仪器 之器目前很难剞 摹膜电阻村 ；上可得升 丁求出曲线 夕 （尼）=乏 扛 均为复数，包含j f曰：／4．e） 尿≯”I叫。 对薄膜电阻实骁 阻工作过程的乡 膜电阻的懊谏昨