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浅谈高功率半导体激光器的可靠性 On the Reliability of High Power Semiconductor Laser 1，2 2 2 2 2 1 1 刘兴胜 ，王警卫 ，张恩涛 ，熊玲玲 ，张彦鑫 ,张艳春 ，许国栋 (1.西安炬光科技有限公司，陕西 西安 710119 ） (2.中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室，陕西 西安 710119) 1，2 2 2 2 2 1 Liu Xingsheng , Wang Jingwei , Zhang Entao , Xiong Lingling , Zhang Yanxin , Zhang Yanchun , Xu 1 Guodong (1 Xi’an Focuslight Optoelectronics Technology Co., Ltd., Xi’an 710119, China) (2 State Key Laboratory of Transient Optics Photonics, Xi’an Institute of Optics Precision Mechanics of Chinese Academy of Sciences, Xi’an 710119, China) 引言 P  exp[R (IV P) / T ] *{I I exp[(R IV P) / T ]} 高功率半导体激光器可用来泵浦固体/ 光纤激 d th 1 th th 0 ..(2) 光器，也可直接用于材料处理如焊接，切割，表面 处理等。半导体泵浦的固体/光纤激光器广泛应用于 t Ea KT Ea K [T (IV P)R ] j a th (3) 工业、军事、医疗等。随着半导体激光器输出功率、 转换效率、可靠性和制造工艺的提高以及成本的降 其中，η 、I 、T 、T 为室温下器件的转换效率、阈 d th 1 0 低，许多新的应用成为可能。在实际应用中，半导 值电流、斜率特征温度和阈值特征温度，t为半导体 体激光器的可靠性是一个决定性的因素。随着半导 激光器寿命，Ea为激活能（activation energy ），K 体激光器功率的提高，可靠性会逐渐降低，如何保 为波尔兹曼常数。由式 （2 ）和式（3 ）可见器件的 证在高功率输出的同时兼备高可靠性已成为当前业 热阻将直接影响器件的功率和寿命，器件热阻越低 界最关心的问题。提高高功率半导体激光器可靠性 输出功率越高，可靠性越高。正是因为热阻对器件 的技术目前成为激光器产业化和拓展应用市场的瓶 功率和寿命影响的原因，对于808nm传导制冷的单 颈。本文介绍了影响高功率半导体激光器可靠性的 阵列半导体激光器热阻一般约为0.6W/K，输出功率 因素，对各种因素进行了分析和讨论，并提出了提 仅为60W；同样808nm微通道液体制冷型单巴条半 高可靠性的策略和方法。 导体激光器热阻约为0.3W/K，输出功率就可达到 1. 结点温度 100W。 随着半导体激光器向高功率不断发展，器件有