溅射功率对CIAS电池吸收层前驱膜成分和结构的影响.pdfVIP

第 28 卷 　第 5 期 太 　阳　能 　学 　报 Vol28 , No5 2007 年 5 月 ACTA ENERGIAE SOLARIS SINICA May ,2007 文章编号 : 2007) 溅射功率对 CIAS 电池吸收层 前驱膜成分和结构的影响 向　华 , 庄大明 , 张 　弓, 李春雷 (清华大学机械工程系功能薄膜研究室 ,北京 100084) 摘 　要 : 采用中频交流磁控溅射方法制备了 CuIn 、CuAl 和 CIA 合金膜 。并用 SEM 及 XRD 观察和分析了各种薄膜 的表面形貌 、成分和组织结构 ,着重分析了靶功率密度对薄膜成分 、晶体结构的影响 。结果表明 ,通过调节靶功率 ( ) ( ) 密度 ,能精确控