激光清洗技术评述.pdfVIP

第22卷第2期 应 V。【22,N二2 2002年 4月 A 尸P乙IED LASER 人ril2002 激光清洗技术评述 张魁武 looosT}2t “ (机械工业激光加工中心北京 提要 激光清洗在工业中的应用有清除半导体和光学器件表面附着的徽粒，铜表面的氧化物，金属和其 它材料表面的放射性污染，集成电路封装孔的清理。雷达、飞机、高压艳电塔架、桥梁和舰艇等的脱漆和除锈， 以及清洗珍贵历史文物等。已经成功地应用于清洗钢铁、镁、铜、铝、石雕、漆器、皮革、纸制品、玻璃、陶瓷、聚 酞亚胺薄膜和硅片等材料。使用的激光器类型有大功率连续波G02激光器，便携式连续和脉冲002激光器. 脉冲Nd:Y.4G激光器和准分子激