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维普资讯 } 一74{ 第 2卷第4期 光学 精备工程 Vo1．2 No． 4 1994年 8月 OPTItS AND PRECISION ENGINEERING August，1994 线阵CDD光电参量测试系统的研究 7-N ~sgJ 奕 中 杰 (中国科学院长春光学精密机械研究所 长春 130022) 摘姜 讨论了线阵CCD光 电参量澍试系统的标定、调试以及CCD光 电量的测量 方法 。重点进行了以下几个方面的讨论：积分球光源色温标定原理 、方法及结果验证， 线阵CCD光 电参量测试系统的调试与标定 (用标准探测器标定辐照度 ，用标准探测器 标定参考探测器 ，用参考探测器标定辐照度 ，积分球出射光均匀性校正)}线阵CCD各 光电参量测量方法及计算程序。 关键词 ：线阵ccD’光 电参量’色温，积分球I探测器 I 引 言 CCD是一种新型的固态成像器件 ，它是大规模硅集成电路工艺基础上研制而成的模拟集 成电路芯片 CCD既可作一种微型图像传感器，而且，它还可以用模拟信号处理，数字信号 储存技术领域。 CCD器件作为一种重要的光电探测元件，生产厂及使用部门都对它的性能测试给予很大 关注。目前，国内还投有一个单位建立了一套完整的测试系统来评价CCD器件的性能参量。 航空航天部 504所根据工作需要，委托中科院长春光机所研制一套线阵CCD性能参量测 试系统 。本文对其中光电参量测试系统进行探讨。 2 CCD光电参量的定义 2．1 测量条件 CCD器件的大多数光 电参量是在特定光谱类型辐射下测定的，其含义是指色温为 285~K 的演钨灯加特定堪光片 一种是 7．ram厚的SehottBG一38堪光片，用颜色谴光玻璃制成，在 光谱区域中具有光谱选择性吸收特性。另一种是光学度膜实验公司生产的宽波段热反射镜。 此外 ，为了考察资源卫星各通道上CCD器件的光电参量，需要在加有相应各种滤光片的 光源下对其测量。因此 ，为资源卫星各通道也配置了滤光片，包括 ：红外滤光片、红滤光片、 绿滤光片、蓝滤光片、全色滤光片。 收稿日期 ：1994年3月 10曰I卓文作者的导师为崔戟杰 维普资讯 4期 栾中杰 线阵CCD光电参量测试系坑的研究 l41 CCD效据采集频率为 1MH；一5MHz可变 ； CCD积分时间为 0．2ms~20ms可变 ； CCD测量环境温度为 25℃。 2．2 CCD光电参量的定义 目前 ，生产 CCD的厂家之间对 CCD器件的各种光 电参量的定义有些差异。根据 504所 建议 ，参考仙童公司 1987年版CCD数据手册 ．定义了如下各光 电参量 。 动态范 围 (DynamicRange)； 饱和曝光量 (SaturateExposure)； 响应度 (Responsivity)} 光谱响应度 (SpectralResponsivity)； 响应度不均匀性PRNL (PhotoResponseNon-Uniforrmty)} 饱和输出电压 (SaturationOutputVoltage)； 线性度 NL (Non-Linearity){ 电荷转移效率 CIE (ChargeTransferEfficiency)} 暗电流 (DarkCurrent)} 奇偶两路信号