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介绍陶瓷材料能与金属快速连接的方法.doc
介绍陶瓷材料能与金属快速连接的方法
介绍这种方法的目的是:为克服锂离子电池固体电解质与电极材料之间接触电阻较大的可参考的加工方法之一,当然并不是说就是推荐采纳这一方案。
采用健合工艺,来解决离子导电材料ZrO2与金属铝的快速连接问题。阳极健合工艺是作为陶瓷/金属在静电场中固相扩散连接的一种特殊方法,具有低温、快速和简便的工艺特点,适用于微型仪表、传感器、燃料电池及其它微电子机械系统。功能陶瓷与金属的快速连接,对于性能相异的材料组合及微电子器件的制备有着重要的意义。
ZrO2是氧离子型离子导电陶瓷,优点是具有耐高温和导电率高等优点,是燃料电池和化学传感器的理想材料。但是缺点是容易在高温下由单斜晶形转变为四方晶体,因此而产生裂纹。
一般通过在原料中加入与Zr4+有相似半径元素的氧化物,形成置换固溶体以避免开裂。因为ZrO2具有耐高温化学稳定性,经过高温真空烧结成的ZrO2材料表面致密度大,不利于电场条件下扩散条件的连接,这里的加工方法有利于研究了陶瓷/金属的结合原理及连接工艺。
方法:
使用Y2O3稳定的ZrO2。用Y2O3增韧的ZrO2改善了陶瓷原有的韧性差和抗热震性能差的缺点。这时使用的ZrO2材料采用真空烧结法制备,热膨胀系数为5.1×10-6/K。
配方组成:(重量比)
ZrO2 90%,Y2O3 3-5%,MgO 3-5%
表面活化采用真空磁控濺射薄膜工艺,然后把ZrO2表面抛光后采用JGP560V型高真空磁控溅射机溅镀SiO2薄膜。溅射用靶材为石英玻璃,磁场频率为13.56Hz,Ar分压3×10-5Pa,工作真空度6×10-6Pa,健合时间为10min。让ZrO2表面形成1.5~2μm厚度的SiO2薄膜。表面粗糙度Re=0.1μm。
工作方法:
把材料切成20mm×20mm的方形,连接表面采用金刚砂进行研磨和机械抛光,表面粗糙度Re≤0.1μm。焊接之前用丙酮清洗。所用铝箔材料为:厚度0.02mm,纯度为99.997%的产品。将陶瓷ZrO2与金属铝片的研磨面相对迭放,并且夹持在专用的焊接加热炉的平台,金属铝接正极。
连接工艺参数为:健合温度450~600℃,电场电压100~300V,夹持压力0.5MPa,健合时间5~15min。连接完成后工件随炉冷却,降温速度4℃/min。
工艺参数对连接过程的影响
ZrO2具有十分优势的离子导电性。在健合温度500℃,电场电压200V的静电场建立数秒钟内,工件界面两端的电流密度达到较大值(高于7ma),然后缓慢下降,几分钟之后达到一定值(约1~3ma),电场电压和健合温度的增大都使极化电流Ip值显著提高,表明连接区域的离子密度受温度的场强的影响明显。
ZrO2/Al的连接性研究时,采用单因素变换法,专门分析健合温度、电场电压等参数对结合强度的影响。试验范围确定在电场电压100~300V,健合温度200~600℃,健合时间5~25min。测试了以上参数范围内对ZrO2/Al的连接性能结合率、结合强度的影响。当电场电压100~300V之间对结合力影响不大,当电压大于300V将导致击穿,结合力随温度的升高而增大,结合强度则随着时间的延长而提高。
健合温度、电场电压均对ZrO2/Al的结合率有显著影响。在一定健合温度下,电场电压较高时对应的结合率也较高,500℃/300V的条件下可以实现较高的连接质量;随着温度的降低,平均结合率也下降,温度低于200℃,结合率则非常低。
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