金刚石薄膜散热皮晓强.docVIP

金刚石薄膜散热研究 微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备 由于金刚石具有室温下最高的热导率, 因此用化学气相沉积( CVD )制备的金刚石膜是大功率发光二极管( LED )理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD 研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜( SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征, 并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明: 在硅衬底上沉积20- 30 ??m的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度; 在相同的制备成本下, 提高薄膜的厚度(甲烷浓度4% )比提高薄膜的质量甲烷浓度2% )更有利于提高LED的散热效果。本研究表明微波等离子体CVD制备的金刚石薄膜是大功率LED的理想散热衬底材料。 发光二极管( light em itt ing d iode, 简称LED )与传统的白炽灯相比具有驱动电压低、节能、高稳定度、响应时间短、不含有害的金属汞等优点。美国等国家对LED照明效益进行了预测, 美国55% 白炽灯及55% 的日光灯将被LED 取代, 每年可节省350亿美元电费,减少7. 55亿吨二氧化碳排放量[ 1] 。然而, LED 的价格目前还比较昂贵, 较之于白炽灯, 几只LED 的价格就可以与一只白炽灯的价格相当, 而由于LED的发光功率较低, 通常每组信号灯需由300~ 500