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中国科学院合肥物质科学研究院拟采购高性能聚焦离子束双束系统设备一台，现进行公开招标。 内容: 高性能聚焦离子束双束系统 具体设备名称、数量及主要技术指标: 设备名称：高性能聚焦离子束双束系统 数量：1台 1．技术规格 1.1 电子束 1.1.1电子枪类型：肖特基场发射灯丝枪，寿命大于1年 1.1.2分辨率： 高压15kV下优于1.0nm 低压1kV下优于2.0nm 1.1.3加速电压：最低加速电压不大于200V, 最高加速电压不小于30KV 1.1.4放大倍率: 20倍-100万倍 1.1.5透镜设计: 可实现FIB, SEM高分辨实时Real-time工作 1.1.6 静电电子束闸装置 1.1.7 可用探头：镜筒内电子探测器In-lens或ICD，样品室探测器ET-SE，背散射电子探测器 1.2 离子束 1.2.1离子源种类：液态Ga离子源，寿命不小于1000小时 1.2.2分辨率： 30kV下优于2.5nm 1.2.3加速电压： 最低加速电压1KV, 最高加速电压为30 kV。 1.2.4束流强度：最小值不高于1pA，最大值不低于50nA 1.2.5放大倍率: 300倍-50万倍 1.2.6配置样品室等离子清洁装置，完全电脑程序控制，能够自动清洗 1.3 气体注入系统 具备Pt，C, Tungsten, H2O, XeF气体沉积系统，可在离子束、电子束诱导下进行可控纳米沉积。 1.4 样品室以及样品台 1.4.1 样品室直径优于330mm，高度优于266mm 1.4.2 高精度全自动马达样品台； X Y 方向移动范围不低于100mm，Z方向移动范围不低于10mm，回复精度小于1 μm；X、Y方向最小移动步长不大于100 nm；倾斜角度 T 范围不小于-10到60度，旋转角度R=360° 10-6 mbar级别, 离子束FIB操作模式下真空度优于 10-5 mbar级别 1.6 冷却水系统： 要求有一台冷却循环水，分别用于冷却SEM镜筒及其它部件。 1.7 纳米图形发生器系统 （选用XENOS XeDraw2或Raith ELPHY MultiBeam图形发生器） 用于电子束/离子束曝光，纳米刻蚀，纳米沉积，MEMS/NEMS微器件制作，书写速度：优于10 Mpixels/s；图像分辨率优于：50000*50000 pixels；电子束驻留时间最小增量：2ns 。辅助指标描述：具备离子束沉积并加工复杂图形的能力具备两点间的测量功能 投标者须做对此项目的售后服务承诺书作为投标一部分. 3.3 保修期：提供12个月以上免费保修，保修期自验收签字之日起计算。 3.4 维修响应时间：仪器供应方应在24小时内对用户的服务要求做出响应，接到用户维修通知后2个工作日内必须到客户现场. 3.5免费提供一年两次上门巡检和必要的技术培训 4.1 独立法人资格，投标企业注册资金证明，有针对本招标项目的法人代表授权委托书（原件） 4.2 投标单位营业执照（复印件，加盖公章） 4.3 企业资质证明，ISO9001质量体系认证（复印件，加盖公章） 4.4 类似产品的销售业绩证明材料（销售合同复印件，加盖公章） 4.5 不同时为制造商的投标商应提供对此次招标项目的制造商授权书（原件） 4.6 提供产品相关技术性能资料。 报名时需提交以上资料，同时附上准备投标产品的品牌、型号以及该产品与本招标公告所开列的主要技术要求相对应的指标参数或文字表述。招标单位根据以上证明资料进行资格预审，招标人将从资格预审通过者中遴选邀请对象，未被邀请者恕不另行通知。 5. 报名时间与地点 报名时间：2013年1月30日－2013年2月24日 （每天上午8:30-11:30，下午1:30-4:30，节假日休息） 报名地点：中科院合肥智能机械研究所三楼第一会议室 6. 投标截止日期 有意承揽此项业务者，在2013年 2 月 24 日前，将投标书（正本壹本、副本肆本）邮寄或送到中科院合肥智能机械研究所207室。 7. 开标 开标日期：2013年 3 月 1 日09时 开标地点：中科院合肥物质科学研究院强智能机械研究所三楼第一会议室 8. 联系方式 联系人：徐老师 联系电话：0551E-mail: whxu@iim.ac.cn 1