IC引线焊接用超声键合换能器的优化控制.pdfVIP

第33卷第5期 杭州电子科技大学学报 V01．33，No．5 2013年10月 Joenud0f HM咖DiⅫ菌Univmity Oct．2013 doi：10．3969／1．iron．1001—9146．2013．05—048 IC引线焊接用超声键合换能器的优化控制 卢玲1，范音2 (1．杭州优博信息科技有限公司，浙江杭州310012；2．杭卅科布伦茨电气有限公司，浙江杭州310052) 摘要：大规模集成电路芯片内晶片与Ic引脚问的引线焊接常用基于超声键合压电换能器的超声 波焊接工艺，因此超声键合换能器的控制性能直接影响了引线焊接质量及Ic芯片的可靠性。该 文在分析压电换能器特性的基础上，提出了一种对压电换能器特性参数进行自动辨识的扫频自学 习方法，及基于调节器参数自整定的换能器优化控制方法，并介绍了以高性能DSP为核心的压电 换能器控翩系统的技术实现方案，该系统已在国际品牌的Ic封装设备金线焊线机中得到应用。 关键词：超声键合换能器；超声波焊接；参数辨识；优化控制 中图分类号：。IP29 文献标识码：A 文章编号2013)05—0187—04 0引言 超声键合换能器，也称超声波压电换能器或超声压电驱动器，目前最常用的是基于压电陶瓷的换能 器¨，zJ。压电换能器(驱动器)是一种机电能量转换器，其激励电源的频率处于超声区，换能器机械振子 的振动频率与激励电源同频率，振幅与激励电压幅度成正比，这也是目前用于大规模集成电路(IC，Inte． gratedCircuit)芯片内引线的超声波焊接过程所采用的换能器原理。要实现对IC芯片内金属引线进行 高效、快速的超声焊接，则对压电换能器的控制性能要求很高。目前的常用方法有：谐振控制法【3J、锁 相控制法[41等，并可调节输出功率【5】。然而，要实现压电换能器的优化控制，就需要获取换能器特性参 数，但换能器特性具有很大分散性，且换能器安装夹具的松紧也严重影响其特性参数。为此，本文提出 一种对压电换能器的参数识辨与优化控制方法，及技术实现方案，该方案系统已配套应用于国际品牌的 IC芯片内部金线焊接的专用生产设备中。 l超声键合压电换能器的特性分析 超声键合压电换能器及其等效电路与频率特性如图1所示，图1(a)为换能器示意图，其等效电路 与频率特性分别如图1(b)、(c)所示。其中，c。为电极间静态电容；C。为由换能器柔度决定的等效电 容，在换能器机械结构中某部分拧紧或拧松均会影响此值，一般C。远小于co；L。为表征换能器机械惯 量的等效电感；R。为表征换能器有功功耗的等效电阻，由空载时换能器本身内阻与表征负载有功功率 的电阻组成。 由图l(b)可得，超声波换能器总的等效阻抗Z(s)如下： 孙，=哿=睁等s+·)／Cs(之2+§fOp+·) 收稿日期：2013—07—20 作者简介：卢玲(1965一)，女，浙江宁波人，高级工程师，自动控制． 188 杭州电子科技大学学报 2013年 振子 固定端 激励靖 图1 超声键合压电换能器及其等效电路与频率特性 式中，饥为表征机械谐振的串联谐振角频率；‰为并联谐振角频率；Q为机械品质因数，表征换能 器储存机械能的能力。压电换能器阻抗的幅频特性lz(如)I、相频特性o(∞)如图1(c)所示，在机械谐 振点处(∞=q)的阻抗模Iz(jo,．)I最小。 f∞。=1∥【百 ≮o．；R，丽 ‘2’ 挣2．嘭1+m、 (3)