2-巯基苯并(口恶)唑(MBO)在铜表面缓蚀膜探究.pdfVIP

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424 2一巯基苯并嚼唑(MBO)在铜表面缓蚀膜研究 严)1|伟何毓番林海朝t蔗南 (中因科学麂空禹庸蚀与防护研究所.垒属腐蚀与防扩田容量.羔实验室,洗阳110015) 鄣摹平 (东北师范大学化学系,长彝130024) 和不舍氯化钠的2一琉基苯并曝唑(MBO)溶液中处理的铜样品表面所形成的袋蚀膜.研究结果表 明.IdBO是成威蛰缓蚀荆,它在铜发生腐蚀的条件下,通过化学反应在懈表面形成不溶且致密的 膜,从而起到缓蚀作用.其中的S和N原子在缓蚀膜构成中起重要作用。 关■■MBO缓蚀铜庸蚀 1 引 言 人们已对铜缓蚀剂作过不少的研究””],但有关缓蚀机制仍有需进一步探索的方面,诸 如缓蚀膜的构成及其作用等‘7“”“]。2-巯基苯并嗯唑(MBO)对铜的腐蚀具有非常显著的缓 蚀作用,但对其缓蚀作用机制的研究却鲜见报道啪。 本工作对MBO在不同条件下在铜表面所形成的缓蚀膜进行研究分析,旨在探索其组成 结构和形成机制,进而推进对铜缓蚀荆缓蚀作用机理的认识。 2 实 验 MBO是Aldrieh公司产品;所用其他试剂均为国产分析纯试剂。溶液用三次蒸馏水配制。 溶液反应,经蒸馏水洗涤后于空气中干燥制得。饱和KCl的作用是确保CuCl溶液中Cu 砂纸逐级打磨,最后将工作面用1.urn金刚砂粉抛光,再分别经丙酮、乙醇超声清洗,干燥后 进行MBo。 公司VeeMax反射附件进行。AES测试用LAS MK 试用VGESCALAB ererTMX2000扫描探针显微镜,在开路电位下进行。 3结果与讨论 3.1 AES和XPS 图1是在3%NaCl+lmmol/LMBo中处理20h的铜样品表面的AES深度图。很明显, N、S和C的含量随刻蚀撵度莲渐下降,在十几个nm的深度降至接近于零。因此,在该处理 :。{j 气:一g 条粹下形成的MBO缓蚀膜的平均厚度仅有十几个nm。但值得注意的是,在该铜样品的表面 层中。的古量极低,甚至远低于MBO中理论含量。这表明,MBO是通过化学反应形成缓蚀 膜的,并且在形成时O从相应的结构单元中释放出去。另外,MBO缓蚀膜形成的过程很可能 是消耗铜表面固有氧化膜(Cu。O)的过程,缓蚀膜直接构建在金属铜表面上,即:金属铜/缓 蚀膜的结构,并非金属铜/腐蚀产物层/缓蚀膜的结构…m]。 ■ ≈ 掌 魁 蛏 一10L——扩—————南————叫矿一~百r————荀 刻蚀深度,nm 圈1 3“NaCI+lmmol/LMBO中处理20小时铜样品表面的AES深度图 一一sf●卜_c,▲~N}丫一o;◆--Cu 显著,而其他的没有明显变化。这表明在形成MBO缓蚀膜时,N和S这两种元素的原子起到 较为重要的作用。 衰l MBO,MBO—Cu(I)(I)和MBO竣蚀曩的结台蕾。 曩蚀虞 Cu2pa/2 N18 Ols S2p ~ MB0 4003 533.3 162.2 MBOCu(I) 932.3 399.0 533.5 162.6 MBOCu(I

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