MEMS显微干涉测量系统中相移器性能地研究.pdfVIP

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MEMS显微干涉测量系统中相移器性能地研究.pdf

V01.19 第19卷第5期 传感技术学报 No.5 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS Oct.2006 onthePerformanceofPhase-ShifterintheMEMS Study Interferometric Microscopic MeasuringSystem GUO Tong+,HUChun~guang,CHENJin—ping,FUXing,HUXiao—tang and 300072,China) ofPrecisionMeasuringTech

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