碳片组成的纳米薄膜材料显微结构的研究.pdfVIP

电子显微学报 \ K 9D. K 5’AM- K 6A-(/A K 4(A K （） 年 ! 2 ]*!0 ^ *!1 )) * !0 碳片组成的纳米薄膜材料显微结构研究 ， ! ! ! ! ! 孟祥敏 ，尚乃贵 ，李振声 ， ，李述汤 # $ %’’( （香港城市大学物理与材料科学系和超金刚石及先进薄膜中心，香港； ! 中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家实验室，辽宁沈阳 !!))!* ） 最近几年，碳纳米材料由于它在物理和化学方 厚的薄片，它们的长度大约是1)).=。在这些薄片 面的应用前景，引起了科学工作者们的广泛注意。 中间有大量的孔洞存在。为了得到薄膜的内部结 ［］ ［］ ［］ 这些材料包括碳纳米管 ! 0 构，我们用高分辨电子显微镜对它进行了详细的研 、纳米线 、 、 +,’’-./ ［］ ［］ 1 2 究。图 纳米墙 和纳米金刚石 等。其中+,’’-./ 和纳 G 给出了薄膜的4HI? 图，我们能看到四个 米金刚石被认为是零维材料，碳纳米管和纳米线是 明显的环，其中三个分别是石墨的（ ）、（ ）和 )) ))1 ［］ 一维材料，纳米墙是二维材料。 1 等人在制备碳 （ ），如图所示，另一个环无法确定，有待于进一 3, !! 纳米管的过程中发现了纳米墙，并给出它的456 照 步研究。由于碳片很薄，所有的环都不是敏锐的，而 片。但没有给出它的精细结构。我们在金刚石的制 是弥散的。图 是一张薄膜的 照片，我们能 9 7856 备过程中发现了一种由无序的碳片组成的纳米薄 看到它由若干碳片组成，且它们相互交叠在一起， 膜，并利用扫描电子显微镜 （ ）和高分辨电子显 薄片的厚度大约 。一些较厚的薄片被分成两 456 !).= 微镜 （ ）对它进行了详细的研究。 片，如图中箭头所示。在片与片之间，有一些非晶和 7856 实验方法 孔洞存在。研究结果表明，薄膜由纳米尺度的碳片 碳纳米薄膜的生长在热丝化学气相沉积系统中 和非晶组成，在薄膜内部有大量的孔洞。这种薄膜 进行。反应气体是9 7 气体和氢气，它们的比值是