厚膜电阻器的噪声的研究.pdfVIP

2004年中国电子学会第十三届电子元件学术年会论文集 厚膜电阻器的噪声研究 杜磊庄奕琪孙承永 西安电子科技大学技术物理学院，710071 摘要：本详细介绍了犀膜电阻器噪声测量仪嚣和技术，并论述了厚膜电隈器噪声类型和特 性以及分析方法。在此基础上，讨论了噪声表征厚膜电阻器质量的方法和噪声用于厚膜电阻嚣 可靠性评估技术。 、／ 关键词：厚膜电阻{噪声 噪声测量 1．引言 噪声是厚膜电阻器的重要性能指标，也是限制其在射频及高精度系统中应用的重要因素。 因此，低噪声化技术是厚膜电阻器噪声研究的重要内容。另一方面，厚膜电阻器制造工艺相对 较简单，但是材料结构的高度非均匀性和随机性，使得厚膜电阻材料结构、质量和可靠性表征 a]o无论是低噪声化技术还是噪声用于 十分困难。人们发现噪声是表征上述性质的敏感工具[i 特性表征，都要以噪声测量和分析为基础。本文将就厚膜电阻器噪声测量，噪声用于厚膜电阻 器质量与可靠性表征等内容予以论述。 2．厚膜电阻器噪声测量与分析技术 电子元器件中的电噪声信号十分微弱，测量时需要良好的屏蔽环境。在我们实验室中，噪 声测量采取双层屏蔽措施，在大型屏蔽室内还有专门屏蔽箱将偏置系统、低噪声电源和前置放 大器等于外部设备(如微机)隔离开。电子元器件噪声测量对测量仪器和测量技术也有较高要 求。目前，我们实验室有两套电子元器件噪声测量仪器。一套是由通用的惠普频谱分析仪为基 础组建的测量系统。其基本结构如图1所示。 图1 以通用仪器为平台的噪声测量分析系统 另一套噪声测量分析系统是我们自主研制开发的专用电子元器件噪声测量分析仪器，其基 本构造如图2所示。由于用虚拟仪器的频谱分析软件代替了价格昂贵的频谱分析仪，专用噪声 ·25l- 测量分析系统价格仅为通用系统一半，性能还优于前者。该系统包括自主研制的低噪声前置放 大器。电源和偏置电路和基于虚拟仪器软件测量控制与噪声分析软件。 厚膜电阻器噪声包括热噪声、猝发(也称为ITS)噪声和』／，噪声。这些噪声不仅信号特 征不同。而且产生机理不同。一厚膜电阻器中这些噪声可能同时存在，所以检测出来的电噪声 是若干种噪声的混合。在某些厚膜电阻器中可能某一种噪声比加突出，其余噪声相对较弱。噪 声测量分析仪不仅要能够测量出器件的噪声，而且要分析测量信号中所包含噪声类型并提取各 噪声参量。我们研制的电子元器件专用噪声测量系统除了可以进行噪声频谱分析之外，还具有 跗削+乒+布 ㈩ J表示噪声(一般为电压噪声)功率谱密 度，它是频率，的函数，共由三项构成， ” I 其中第一项表示热噪声，用于表征热缺 咬I t 陷，用自噪声幅度4描述；第二项表示 J／，噪声，用于表征表面缺陷，用Ⅳ，，噪 丫、a一2 ■ 声的幅度占和频率指数因子a描述：第三 s。14砷}R‰ 项表示g～r噪声或者猝发噪声，用于表征 { 体缺陷或者单个激活陷阱。用噪声的幅度 f描述。 噪声分析仪的软件能够针对检测噪 图3厚膜电阻归一化电压噪声功率谱密度随频串变化 声信号计算相应的功率谱密度并拟合出 -252- (1)式中的各项参数。一个典型的厚膜电阻器噪声功率谱图在图3中给出。该功率谱表明噪 声的低频部分包含有1／f噪声，中频部分为猝发噪声，高频为热噪声。如图4所示，猝发噪声 从噪