DLC等复合涂层用于汽轮机末级叶片抗水蚀地研究.pdfVIP

第四届全国火力发电技术学术年会论文 DLC等复合涂层用于汽轮机末级叶片抗水蚀的研究 丁辉，杨兵 (武汉大学，湖北武汉430072) 类金刚石(DLC)涂层是一种主要是由sp2键 摘要：采用闭合磁场非平衡磁控溅射离子镀设备在2crl3衬 和sp3组成的混合无序的亚稳态的非晶碳膜，具有 底上沉积纳米多层类金刚石(DLC)涂层；采用多弧．磁控 低摩擦系数、高硬度、高弹性模量、高耐磨性以及 溅射镀膜机沉积CNx／TiN纳米多层复合涂层：利用自行研 制的高压水蚀试验装置对不锈钢、司太立合金、CNx／F小I纳良好的化学稳定性和抗腐蚀能力等性能。由于DLC 米多层复合涂层以及纳米类金刚石(DLC)涂层的抗水蚀性涂层具有的优越性能，使其在航空航天、机械、生 能进行对比试验，晟后对涂层的水蚀失效机理进行了探讨。 物医学、计算机等领域，具有良好的应用前景，为 试验结果表明：纳米类金刚石