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无氢非晶金刚石膜耐磨性研究 黎永钧、苏秉雄、李冬生 (陕西百纳科技发展有限责任公司 710043) 基体上沉积120--150nm非晶金刚石膜．用划痕法测定其结合力，平均临界载荷分别为19．15N (高速钢)和6．44N(不锈铜，cB工艺)．用栓盘摩擦试验测定镀膜的摩擦系数“和耐磨寿 3600倍，而且镀膜质量稳定，重复性好． 关键词：非晶金刚石膜，膜，基结合力，摩擦系数，耐磨性。 A of Researchon Wearability Hydrogen—freeAmorphous DiamondFilm Li Yongiun,Su Bingxiong，Li Dongshcng Baina