热驱动双金属薄膜式微泵的热学的研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 第十届年会 编号013068 热驱动双金属薄膜式微泵的热学研究+ 徐宁胡桅林过增元 清华大学工程力学系北京100084 l Tel：0O Email：huweil@tsinghua．edu．cn 摘要本文对取金属热驱动微泵建立了数值模拟模型，得到微泵整体的温度分布和温度响应，通过进 一步分析泵体的热流分布，对微泵的能量利用与转换过程进行了深入研究．计算表明，加热半周期内， 电自＆转化的热量大部分咀导热形式通过硅膜敏失到泵体，小部分通过对流换热散失．只有很少部分被 有效地利用来使膜片温度升高。本文提出了微泵的优化方案． 关键词fl【ElIsj热驱动微泵；微流动器件 、 一 1 引言 近十几年来，微流动系统以及相若的微型