提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列地研究.pdfVIP

提高CCD图像传感器填充因子的微透镜阵列的研究 柯才军‘易新建’赖建军1 (i．华中科技大学光电系 武汉430074) (2．华中科技大学图像处理与智能控制国家重点实验室 武汉430074) 6(V)元石英微 摘要：基于提高可见光ccD图像传感器的填充因子和探测灵敏度，对516(H)×51 透镜阵列的设计及制作工艺过程进行了讨论．最后的测量结果表明，所制作的微透镜阵列有优良的 表面轮廓，较好的几何尺寸均匀性和光学性能，实际有效孔径比达到92．8x，大大提高了微透镜阵列 的聚光效率． 关键词：微透镜阵列：填充因子：CCD；反应离于刻蚀 1引言 随着先进半导体加工技术的飞速发展．CCD像元尺寸不断减小，综合性能尤其是成像分辨率不 断提高。但同时，像元尺寸的减小导致CCD的探测灵敏度下降，因此提高CCD的填充因子成为优 化其性能参数的一个必要条件。采用微透镜与CCD集成技术的研究国外已经进行了很多尝试…”““， 而国内才刚刚起步”’，还有大量的技术问题有待解决。如何制作出成型质量高，均匀性好，并有良