特种气体系统设计与施工规程.pdfVIP

维普资讯 第 3O卷 ，第 5期 微 电 子 技 术 总第 147期 Vo1．30，No．5 M ICROELECTRONIC TECH口、iOLOCY 2002年 1O月 工艺线特种气体 系统设计与施工规程 陆 锋 ，顾爱军 (无锡微 电子科研中心 ，无锡 214035) 摘 要： 本文介绍了工艺线特种工艺气体 系统改造设计方面的一些原则，并详细论述 了管路的 施 工规 程 。 关键词： 特种气体 ；纯度 ；焊接 中图分类号：0613．1 文献标识码 ：A 文章编号：1008—0147(2002)05—32—05 Design andEngineeringRegulationsforthe SpecialGasesSystem ofA W aferFab LU Feng，GU Ai—jun (WuxiMicroelectronicsInstitute，WuxiJiangsu，214035，China) Abstract：Somedesignprinciplesforrebuildingthespecialgasessystem ofawaferlabaredescribed Engineeringregulationsforrebuildingthetubingsystem arediscussedindetail． Keywords：Specialgases ；Purity；W elding 完成 102科研生产线 496技改 。496技改包括 了工 1 引言 艺设备整体重新布局 、动力升级改造 ，以及新添 18 种设备所需工艺气体供气和上百条气体管道 的改 半导体前道工序生产线设备使用 了大量高纯 造。 度、强腐蚀、剧毒和易燃易爆的特种工艺气体。这些 由于资金少 、时间紧 ，必须少花钱 、多办事 ，并按 气体的输送系统的设计非常复杂，施工要求非常严 期保质地完成任务 。我们考虑此次新添刻蚀设备较 格 ，一旦出现 问题后果将不堪设想。 多 ，加上原有刻蚀设备，干法腐蚀 问设备相对集中， 2 102科研生产线特气供气系统 同种类型的特种气体较多，采用局部集 中供气较为 合理 ，同时也会使得原有的特气柜反而有所节余 ，把 496技术改造 节省的特气柜配 以新的气柜芯，用于新增的设备 ，从 2．1 供气系统整体设计方案简介 而可节约大量 的资金 。 无锡微 电子科研 中心通过在原有 1肿 工艺线 2．2 特气柜 的基础上 ，设法在有 限的净化厂房 内增添部分关键 特气柜是把气瓶里 的高压气体经过减压阀、气 设备 ，从而使工艺线升级达到 0．5肿 的技术水平 ， 体过滤器等部件减压为低压气体供设备使用 ，其 内 收稿 日期 ：2002—04—12 维普资讯 第 5期 陆 锋 ，顾爱军 ：工艺线特种气体系统设计与施工规程