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超高分辨率电子束光刻系统维护升级 配置及技术指标 一、维护升级部件主要结构和功能： (1) 更换样品台移动马达(X,Y轴向)：两组压电陶瓷马达，实现精确驱动样品台； (2) 高度变化激光探测系统：集成CCD传感器和激光器，感知样品台高度变化，反馈至控制器，自动调节样品台高度或者调节电子束焦距，保证曝光距离一致； (3) 真空进样腔：一个可独立放置样品的真空腔室，用于样品进入仪器样品腔前的预抽真空，再用机械手臂将样品送入样品腔； (4) 电脑控制终端：包括曝光控制软件和控制计算机系统，用于扫描电镜和电子束曝光操作； (5) 图形发生器：将设计图形解码处理后将信号输入控制系统，驱使电子束偏转或样品台移动，从而曝光出设计的图形； (6) 纳米步进探针操纵系统：可对纳米探针进行精确移动； (7) 冷却水循环机：用于冷却分子泵和电子枪； (8) 不间断电源：紧急停电时，可以继续为系统供电，提供足够的反应时间进行应急处理 (9) 系统运行所需的环境温度控制和湿度控制装置 二、维护升级部件详细配置及技术指标 工作台驱动机械马达(X,Y轴向)： 1.1 X\Y轴向移动精度为1 μm/step 1.2 以工作台中心为原点，X/Y轴向的移动范围均需要达到-50 ~ 50 mm 1.3 X\Y轴在3 mm/ s 的移动速度下，驱动电流小于：300 mA 2. 高度变化激光探测系统： 2.1 集成CCD传感器和激光器，感知样品高度变化范围为2 mm； 2.2 在4 inch样品上4个角曝光 2 mm ( 2 mm区域的条纹图形(线宽和间距为 50 nm)，显影后线宽各个保持一致； 2.3 CCD与Raith控制电脑连接卡，实现图像反馈传输，最大像素频率需达到40 MHz。 3. 真空进样腔 3.1 真空腔为不锈钢高真空腔，安装在主机台左侧。长宽高为730 × 360 × 300 mm(机械杆超出机台部分长度为 610 mm)； 3.1 样品传送装置：不锈钢机械手臂，进入样品腔后，X, Y, Z移动范围为37 × 0 × 30 mm； 3.2 真空控制系统： 3.2.1 高真空阀门，手动开启，隔绝送样腔及样品腔 3.2.2互锁装置：充气时或送样后，真空阀门会被锁死，防止误操作 3.2.3 真空度：≤ 0.1 mbar 3.2.4 抽气速率：从大气压到 0.1 mbar，时间≤ 10 min； 4. 电脑控制终端 4.1 系统控制软件 4.1.1 SEM和曝光操作控制软件 4.1.2 纳米探针控制软件 4.2 图形设计及处理软件 4.2.1 集成GDSII 编辑模块，可接受ACAD的DXF\ASCII\CIF格 式数据 4.2.3 集成临近效应修正，蒙特卡罗和3D曝光模拟模块 4.2.4 电镜成像和图像测量模块 4.3 控制计算机 4.3.1 处理器为英特尔i5-660 4.3.2 内存为 4GB，DDR3 4.3.3 硬盘容量 256 GB 4.3.4 预装Windows 7操作系统 5. 图形发生器 具有频率20MHz的图形处理DSP芯片，曝光速率为原有版本(10 MHz)2 倍 6. 纳米步进探针操纵系统 6.1 组件：一个探针机台和一个控制键盘； 6.2三维轴向移动精度为1 nm/step 6.3 XYZ移动范围为：20 mm ( 20 mm ( 10 mm； 6.4 工作温度范围：0°C to +50°C 6.5 配备一套钨针：5条，尖端曲率半径为 800 nm 6.6 控制软件：集成于Raith曝光控制软件 7. 冷却水循环机 7.1 温度范围：-15°C to +35°C 7.2 温度稳定性：± 0.1°C 7.3 水流量和压力：4 bar压力下，水流量达到12.5升/分钟(l pm) 8. 不间断电源 8.1 功率：16 kW 8.2 数量为两台：一台供给冷却水循环机，一台供给电子束机台 8.2 输入特性：电压范围120~275 V，频率范围40~70Hz 8.3 输出特性：电压220 V(± 0.1%)，频率50 Hz(± 0.1%) 8.4 停电后，满负载下持续供电时间至少30 min 系统运行所需的环境温度控制和湿度控制装置 恒温恒湿，功率18KW，温度23±1 (湿度65±5% 三、随机易消耗品备件 随机附送系统软件密钥两份 四、安装和调试 1. 安装前，确认各安装部件完好无损 2. 安装过程确保不会损坏其他部件，如撞击，坠落等 3. 安装完成后，进行调试，确保： 3.1 各部件性能达标(如上述各部件指标) 3.2 整机性能达标： 3.2.1 真空度： 工作台部分 ≤ 1 x