脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力的研究.pdfVIP

第23卷第5-6期 光学仪器 VOI 23，No5—6 2001年5—6月 OPTICALINSTRUMENTS 文章编号：1005--5630(2001)5／6一0081一03 ● 脉冲离子镀技术镀制DLC薄膜附着力研究’ 杭凌侠，捺均琪，严一o．朱昌，纂长龙 (西安工业学院．陕西西安710032) 摘要：扶应用的角度讨论了脉冲电孤离子墟技术垃制粪空刖石薄膜的附着力问题，指