用于微波%2f毫米波段的微机械电容式开关的结构的研究.pdfVIP

·a，22；，a卜一14 用于微波／毫米波段的微机械电容式开关的结构研究 丁玲秦元菊忻佩胜茅惠兵赖宗声 华东师范大学电子系 200062 emai Tel：(021)622．33223 1：dingdan9888@2lcn．c∞ i耍：本文论述了应用于微波和毫米波段的M酬s微机械电容开关的结构、原理及工艺流程 和制作方法。执行开关动作的元件是一层薄的金属薄膜桥．根据外加偏压它有两种状态： 动作或静止．当薄膜在这两种状态之间转换的时候，微波信号也在开和关之间转换。本文 所设计的开关执行电压为30V，截止时开关的电容c。。约为4．4pF，导通时开关的电容C。。约 为42fF。该器件为下一代低损耗，高线性度的通信微波电路提供了应用前景。 关■词：MEMS电容开关．牺牲层，共平面波导． 一、引盲 自从八十年代中期微机械加工技术出现以来，人们开始把微机械结构和微电子电路集 成在一起，构成单片集成系统即微电子机械系统(MEMS)。这一技术将对未来的通信、汽 车、医疗和国防领域产生根大的影响。在这些领域中，无线通信是其主要的应用领域。 随着信息时代的来临，在无线通信领域，特别是在移动通信和卫星通信领域．正迫切 需要一些低功耗、超小型他且能与信号处理电路集成的平面结构的新型器件[1]。并希望能 覆盖包括微波、毫米波和亚毫米波在内的宽频频段。开关口】是上述系统中的最基本元件． 它具有低功耗(几乎为零)、失真小的优点．其许多性能(如覆盖波段，插入损耗，隔离 度等)优于现在常用的在微波／毫米波段中GaAs场效应管PIN开关。 二、工作蜃理 微机械电容式开关的平面视图如尉所示： 图1微机械开关平面俯视图 位于图l视图中间的悬空弹性薄膜桥是开关的动作机构，其长为280um，与电介质交叠区 域宽为120岬。信号传输线和地线构成cPw(共平面波导)，我们应用了Trlebk软件进行了 理论分析与计算，其特征阻抗为50 Q。为了更好地说明它的工作原理，下面给出MEMS开 关的剖面图： 二氧化硅 底 图2(a)开关开通时的剖面图 注：本项目受99年度“j：海应用材料研究与发展基金”及国家973项目《集成微光机电系统研究*赉助 ·189· 图2(b)开关关闭时的剖面图 如图2(B)所示，充当上电极的悬空金属弹性薄膜和一F方的底电极及淀积在底电极上的电介 质膜构成了开关的动作机构，图2(B)是未加偏压时的状态，开关处于…orl态。图2(b)是 当薄膜和底电极之间加上偏压时的状态，静电吸引力将薄膜F拉．使之与底电板上的电介 质紧密接触，从而提