1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 医药卫生
  5. 肿瘤科

ITO靶材在溅射过程中结瘤行为地研究.pdfVIP

  • 102
  • 0
  • 约8.73千字
  • 约 4页
  • 2017-08-14 发布于安徽
  • 举报

ITO靶材在溅射过程中结瘤行为地研究.pdf

    第22卷 增刊 真 空 科 学 与 技 术 2002年 VACI川MSCIENCEANDTECHNO.IOGY(CHINA) ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究 姚吉升 唐三川 陈 坚 王 玺 周友元 黄军武 (长沙矿冶研究院，中国，长沙，410012) StudiesonNodulesFormationofITOTargetDuringSputtering YaoJS,TongSC,ChenJ,WangX,ZhouYY,HuangJW (Ch,agshaResearchInstituteofMiningandMetallurgy.Changsha,410012,Chin,) AbstractThevariationofITOtargetsurfacewithtimeduringsputteringhasbeenstudied.Thechemicalcompositionandmi crostructureofnoduleformedduringsputteringw

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >