原创力文档- 27
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- 2017-08-14 发布于安徽
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金刚砂加入量：2．5kg
cm2，Q=609／cm2，c3=709／cm2
因素D=旋转速度：Dl-750转／分，D2纯水加入量：9kg
=850转／分，Ds=950转／分 磨板压力：709／cm2
设备采用兰州风雷机械厂生产的052 机器转速：950转／分
4结果
1115／YJ四动研磨机，对0100mmP型(1II
厚度为0．565衄的硅片进行L9(3．)正交通过试验和生产实践证明采用Q325磨
研磨试验j试验数据见表I。 ． 削助剂应用在单晶硅片水磨中效果较好。具
从正交表上直接看和通过计算，可能的 体方法为：取lkgA液，加入2．5l‘g金刚砂，
好配合为A2、日2,c30码，．其趋势如图l。甩9k的纯水稀释．在搅拌中加入lkgB液。
％ 三移：牧葺 【之春l 采用60—70s／o‘的压力和950转／分左右的
瑚
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