LD泵浦Nd-%27%2b3-%3aYVO-%2c4-微片激光线性调频外差干涉测量绝对距离地研究.pdfVIP

外差干涉测量绝对距离的研究 赵洋陈艳李达成 (济华人学精密仪器系精霄测试技术发仪器固家革点实验室北京100084) 摘要本文提出频率调漕LD泵浦Nd。微片激光器_I}{丁线性调频外差干涉绝对距 离测量的原理，建立7由LD泵浦Nd：YV04微片激光器和以此为基础的绝对距离 干涉仪，考察和分析j-Nd：YVO,。微片激光器的应_【{j可行性，给出了实验测试结果。 关键词：LD泵浦激光器，微片激光器，线性调频，外著干涉，绝对距离测量 1、引言 以、|，导体激光为基础的凋频技术干涉测草技术在位移或距离的绝对测量中得到很广泛的研 究…。影响线性调频进一步发展的两个重要闪素是：激光的光谱带宽，另一个则是激光器的相位 噤声口I。前者限制厂干涉仪的测搭范罔，后者决定了测量撮高能够达到的测攘精度。近年发展起 来的半导体激光器(LD)泵浦Ⅲ体微片激光器，结构简单紧凑，体积小，功耗低，而且具有光 谱线宽窄、相位噪声小、光求质靛高的特点。已有的研究成果表明微片LD泵浦激光器具有良好 的频率调节特性f3。÷I，可以作为线性调频外筹干涉的光源。 本文提出了j：jLD泵浦Nd“微片激光器线性调频外若干涉测鼙绝对距离的方法。由丁． 频光源进行线性调频绝对距离外差干涉测苗。文中分析了影响测量精度的因素，给山了在I米至 3米的范周内与胛溃}：光干涉仪进行比对实验的结果。最t『亓，给出了测距实验结果分析了影响测 量的冈。 2、线性调频干涉绝对距离测量原理 2．1调频干涉绝对距离测量干涉原理 图1所示是线性调频干涉的原理幽。当一束连续线性调频的光束，入射到一个不等臂的迈 克尔逊干涉仪中．从干涉仪两臂返同的两束光存住着一个时间延迟。这两束光波汇合迭加后产生 拍频信号，该拍彩H言号。的频率与时间王正迟一一干涉仪的两臂K著订关。如果入射光束的频率是 以=角波进行调制(如幽2所示)，光束的频率可以4写成： 一444。． 线性调频激光器 }／9峄．ss 、1 ， ， 臂长差d 、1I 图I 调频干涉绝对距离测量干涉仪原理简图 …卜届， (五4f(马4 倒51厶棚一争以c一每s，c孚， L为调制周期．厶调制频率，可为频率调制幅度。 其中，P=2厶·v，二为激光器输出中心频率 J- I， L 、1 1， ．丌—礤矗 瓜瓜奠』 勘＼影 ‘飞∥io≈； 图2干涉仪中参考臂和测量臂的激光频率变化图 对于图1所：最的干涉仪，在三角波的上升段，干涉仪光电接收器接收的干涉信号光强为： 1(0=陋(f)+E(t—o)p(f)+E(r一妇)r (3) =￡；(f)}E；(f—fd)+2E。O)EoO—q)COS{{f(t)一，0一-，1)It) =21。【f)+2J。cos[2x／7rd+(^“一∥‘o一{∥“3)】 式中r，，：一2d为干涉仪臂长差d引起的时间延迟，c为光速。合成光波的拍波频率为： ^：卢力：z厶Ⅳ丝：丛盟d (4) 由此可以得出线性调频干涉绝对距离测量的测距公式为： 扣志以 婚’ 因此，通过干涉信号的拍频^．就可以求出测量点到干涉仪零光程差点问的距离值d。 从公式(5)，我们可以看出：在一个调制周}c}j内，拍频频率的大小与频率的调制振幅成正比 因此．频率调铜振幅越大，jJ!IJ拍频频率的值越人，意