硅基平面热线式NH-%2c3-敏元件地研究.pdfVIP

slrc’99 硅基平面热线式N坞敏元件的研究 蝗富金丽妍全}每英陈丽华孙良彦孙剃周立军 吉林大学电子工程系。长春130023 ‘沈阳卫蚶电子工程系，沈阳110021 摘要： 乖j用液相掺Sb的化学共沉淀方法制备了Sn02-Sb纳米微粉，以其为气敏基体#蝌加入 —些适量的掺杂剂矾瞻成气敏浆料，涂于带有Pt膜电极的硅衬底片上，经700’c㈣ 气敏元件，对H2、叫捌、m等比较敏感。NI-LVO，1．5碱的溶液含浸该元件，可改 善元件对Ⅻ3蜘龇t 一 引言 如今人们已研制出可检测几十种气体的半导体气敏元件，并在实际应用中发挥了重要 作用。秘勰嗍硪蠹睦气体(如H2、CO、硎。等)的气敏元1牛镯胙了翻蝴}警器，{撤敝 等对曝证化工生产，采煤炼油以及改善