热蒸镀法制备WO3薄膜及其电致变色性能.pdfVIP

第３５卷 第２期 暨南大学学报（自然科学与医学版） Ｖｏｌ．３５　Ｎｏ．２ ２０１４年４月 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＪｉｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ（ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅ＆ＭｅｄｉｃｉｎｅＥｄｉｔｉｏｎ） Ａｐｒ．　２０１４ 　 热蒸镀法制备ＷＯ 薄膜及其电致变色性能 ３ 陈中威，　强鹏飞，　杨培华，　麦文杰，　李　玲 （暨南大学 理工学院物理学系，广东 广州５１０６３２） ［摘　要］　 采用热蒸镀法在氟掺杂的锡氧化物（ｆｌｕｏｒｉｎｅｄｏｐｅｄｔｉｎｏｘｉｄｅ，ＦＴＯ）导电玻璃衬底上沉积了一层ＷＯ薄 ３ 膜，运用Ｘ线衍射（ＸＲＤ）、扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和原子力显微镜（ＡＦＭ）等手段对样品进行表征，并运用紫外 － 可见光谱法表征了薄膜样品的电致变色性能．结果表明，该氧化钨薄膜在外加电压作用下，从褪色态（＋０９Ｖ）到 着色态（－２０Ｖ），颜色由淡蓝色变为不透明的深蓝色，光透过率（波长为６３２８ｎｍ）由～７２％ 下降为 ～０％，光学 调节幅度高达７２％，光密度（ｏｐｔｉｃａｌｄｅｎｓｉｔｙ，ＯＤ）变化量达到３，着色／褪色响应速度分别为３０／２０ｓ，循环（－１８Ｖ／ ＋０８Ｖ）３０周期后变色性能保持良好，综合性能优于目前文献报道．由于该法制备的氧化钨薄膜电致变色综合性 能突出，特别是光密度变化量大，在变色玻璃、智能窗户等环保节能领域将有广泛的应用前景． ［关键词］　三氧化钨薄膜；电致变色；热蒸镀 ［中图分类号］　ＴＢ３２１　　［文献标志码］　Ａ　　［文章编号］　１０００－９９６５（２０１４）０２－０１９６－０５ Ｐｒｅｐａｒａｔｉｏｎｏｆｔｕｎｇｓｔｅｎｔｒｉｏｘｉｄｅｆｉｌｍｂｙｔｈｅｒｍａｌｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄａｎｄｉｔｓｅｌｅｃｔｒｏｃｈｒｏｍｉｃｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ＣＨＥＮＺｈｏｎｇｗｅｉ，　ＱＩＡＮＧＰｅｎｇｆｅｉ，　ＹＡＮＧＰｅｉｈｕａ，　ＭＡＩＷｅｎｊｉｅ，　ＬＩＬｉｎｇ （ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＰｈｙｓｉｃｓ，ＳｃｈｏｏｌｏｆＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＪｉｎａｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｇｕａｎｇｚｈｏｕ５１０６３２，Ｃｈｉｎａ） ［Ａｂｓｔｒａｃｔ］　Ｔｕｎｇｓｔｅｎｔｒｉｏｘｉｄｅｆｉｌｍｗａｓｄｅｐｏｓｉｔｅｄｏｎｆｌｕｏｒｉｎｅｄｏｐｅｄｔｉｎｏｘｉｄｅ（ＦＴＯ）ｇｌａｓｓｓｕｂｓｔｒａｔｅｂｙ ｖａｃｕｕｍｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ．ＴｈｅＸＲａｙｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ，ｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅａｎｄａｔｏｍｉｃｆｏｒｃｅｍｉ ｃｒｏｓｃｏｐｅｗｅｒｅｅｍｐｌｏｙｅｄｔｏｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｔｈｅｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｎｄｓｕｒｆａｃｅｍｏｒｐｈｏｌｏｇｙｏｆｔｈｅｓａｍｐｌｅ．Ｔｈｅｅｌｅｃ ｔｒｏｃｈｒｏｍｉｃｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｗｅｒｅｄｅｔｅｒｍｉｎｅｄｂｙｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔａｎｄｖｉｓｉｂｌｅｓｐｅｃｔｒｕｍ．Ｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｅｄｔｈｅａｌｍｏｓｔ ｃｏｌｏｒｌｅｓｓｆｉｌｍｔｕｒｎｅｄｔｏｄｅｅｐｂｌｕｅｗｈｅｎｔｈｅｖｏｌｔａｇｅｗａｓｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｄｆｒｏｍ＋０９Ｖｔｏ－２０Ｖ，ｔｈｅｔｒａｎｓ ｍｉｔｔａｎｃｅａｔ６３２８ｎｍｆｅｌｌｆｒｏｍ～７２％ｔｏ～０％，ｗｈｉｃｈｍｅａｎｔｔｈａｔｔｈｅａｃｃｏｍｍｏｄａｔｉｏｎａｍｐｌｉｔｕｄｅｗａｓａ ｂｏｕｔ７２％ａｎｄｔｈｅｃｈａｎｇｅｏｆｏｐｔｉｃａｌｄｅｎｓｉｔｙ（ＯＤ）ｗａｓｕｐｔｏ３．Ｔｈｅｆｉｌｍｔｏｏｋ３０ｓｅｃｏｎｄｓｔｏｃｏｌｏｒａｎｄ２０ ｓｅｃｏｎ