机械Ti-Si-N表面生长KMC并行仿真【全套设计】.doc

摘要 1 Abstract 2 第一章 绪论 4 1.1 课题研究的来源和目的 4 1.2 计算机仿真是当今发展趋势 4 1.3 Ti-Si-N纳米复合薄膜的研究现状 5 1.4 计算机薄膜仿真研究 6 1.5 仿真技术研究进展 7 1.6 Ti-Si-N薄膜沉积过程并行仿真的必然性 9 1.7 本课题研究的意义 10 1.8 课题研究的内容和任务 11 1.9 课题研究的基础 11 第二章 薄膜沉积过程的计算机仿真 12 2.1薄膜生长理论 12 2.1.1薄膜的形成过程 12 2.1.2 薄膜的生长模型 13 2.1.3 粒子的扩散机制 14 2.2 薄膜生长的模拟方法 14 2.2.1 分子动力学 15 2.2.2 蒙特卡罗模型 16 2.2.3 动力学蒙特罗模型 17 2.3 薄膜仿真模型建立的基本思想 19 2.4 薄膜仿真模型的建立 20 2.5 仿真程序的实现 20 2.5.1 程序主要模块 20 2.5.2 模型实施具体步骤 21 第三章 并行方法 23 3.1 引言 23 3.2 并行程序开发------MPI 24 3.2.1 MPI 的定义和特点 24 3.2.2 MPI 的发展过程 24 3.2.3 MPI并行编程知识 25 3.2.4 Windows环境下MPI程序的编译与运行 27 3.3 .NET remoting的基本概念 33 3.4 Renoting 应用一般步骤 38 3.4.1 服务器端 38 3.4.2 客户端 41 3.5 总结 42 第四章 并行的实现 45 4..1 并行技术在薄膜生长仿真中实现的策略 45 4.2 并行思想 45 4.3 .NET remoting并行的实现 48 4.3.1 并行实现的基本步骤 48 4.3.2 遇到的问题和问题解决的办法 51 4.4 测试结果 52 文献： 54 致谢 55 全套设计，加153893706摘要 Ti-Si-N纳米复合薄膜以其硬度高、抗高温氧化性能好、摩擦系数小、弹性模量高、和基体的结合力强、热稳定性优良等性能正在成为超硬材料研究领域里的研究热点。但是在研究探索过程中，实验制备研究未能给出最佳的工艺参数，性能研究也未能给出令人信服的超硬性的理论解释。本课题的研究中，我们尝试采用计算机仿真技术，通过数值方法模拟粒子沉积行为，给出不同工艺参数对薄膜微观结构的影响，并使用remoting行技术来实现并行，加快程序的运行。 本文在总结蒙特卡罗（MC）和分子动力学（MD）这两种计算机模拟方法各自特点的基础上，采用将微观粒子动力学与Monte Carlo方法相结合的KMC（Kinetic Monte Carlo）方法来做为本课题研究的计算机模拟方法。该KMC模型引入了活粒子的概念，充分考虑了表面所有活粒子都有发生迁移运动的可能，同时也考虑到每次跃迁运动发生后所引起的周围近邻粒子运动状态的变化。通过给每个团簇赋以不同的颜色，得到了所需的团簇统计数据。本仿真软件的设计是在Visual Studio .NET 的集成开发环境中进行，用户可方便地输入待考察的参数值，并实时观察表面粒子的运动状态。 在过渡态理论（Transition State Theory,TST）基础上，采用势能面（Potential Energy Surface，PES）搜索方法，建立了动力学蒙特卡罗(Kinetic Monte Carlo，KMC) 三维无格点仿真模型。借助Visual Studio .NET编程语言，开发了薄膜生长的仿真程序。采用该程序对Ti-Si-N表面生长过程进行仿真。程序运行稳定，得到的数据基本可靠。 模拟结果表明，在金属Ti膜生长过程中，当基底温度较低时，成核数目较多，但团簇尺寸较小；当基底温度较高时，形成大尺寸团簇的概率增加，团簇之间的空隙较小。模拟数据也显示薄膜表面粗糙度随温度升高而变得光滑。随粒子入射速率的增加，薄膜生长呈现三维岛状生长模式，薄膜表面粗糙度也随之增加。另外，统计结果也显示出，沉积粒子与基底粒子结合力较强。在金属Ti膜仿真结果的基础上，在此项研究中对Ti-Si-N三元薄膜的生长进行情况进行了初步的计算机模拟试验，这使我们对Ti-Si-N形成纳米复合相的机制有了一些了解，并且为进一步的研究奠定了一个很好的基础。 而且我们利用.NET remoting技术初步实现跨应用域(Application Domain)PC机群网络并行计算，加快了程序的运行速度，减少了工作时间，提高了工作效率。 关键词：Ti-Si-N，KMC，作用势，dimer，并行 Abstract The recent researches show that nano-technology may provide a new promi