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基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究——张国威刘晓为 陈伟平等
基于硅各向异性腐蚀的平面沟道无阀微泵研究
张国威 刘晓为 陈伟平 倪鹤南 王喜莲
哈尔滨工业大学，哈尔滨，150001
摘要：依据扩散口／喷嘴理论，设计了不同几何尺寸无阀微泵的扩散口／喷嘴光刻掩模版图，采用硅平面工
艺、各向异性腐蚀及削角补偿等技术，制作出了多种无阀微泵。对无阀微泵泵压及流量进行了实验研究，结果表
明：泵压与流量均呈现反比关系；扩散口／喷嘴的张角为8。时微泵效率最高；扩散口／喷嘴长度为2500pm、扩散
tiL／min。
关键词：扩散口；喷嘴；泵压；无阀微泵
中图分类号：THl37．51文章编号：1004—132
x(2005)S1一0119一03
Valveless withPlanarChannelBasedon
Silicon
Micropump AnisotropicEtching
GuoweiLiuXiaoweiChen NiHenan Xilian
Zhang Weiping Wang
HarbinInstituteof 50001
Technology，Harbin，1
Abstract：Thevalveless withvarious structureswere tothe
micropumps geometric diffuser／noz—
designedaccording
zle lotofvalveless werefabricatedICandMEMS and
theory．A micropumps by technologyanisotropic
including etching
anodic andflowrateof wereresearched，andtheresultsshowthatthe
bonding．Thepressure pumps in—
pumppressure
creaseininverse tOflowrate．The and rateof achieve
flow 14．9kPaand re．
proportion pressure micropump 558／1L／min
the and ofdiffuser／nozzleis and re．
spectively，whileangle，length，breadthetchingdepth 8。，2400／』m，150／Ⅱm150ym
spectively．
Keywords：diffuser；nozzle；pumppressure；valvelessmicropump
0 引言
+
有阀微泵的研究工作始于2
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