复合腔结构微机械高Q谐振器的研究.pdfVIP

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2017-08-14 发布于安徽
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复合腔结构微机械高Q谐振器的研究.pdf

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第12卷第3期光学精密工程 V01．12No．3 andPrecision 2004年6月 Optics Engineering Jun．2004 文章编号1004-924X(2004)03—0049—05 复合腔结构微机械高Q谐振器研究潘武，陈艳，李应良 (重庆邮电学院微光机电系统研究所，重庆400065) 摘要：设计了一种具有高品质因数和小尺寸的12．12GHz的新颖复合腔结构的微机械谐振器，获得了相关测试数据。将高介电常数材料填入微机械复合腔结构，解决限制高Q值的介质损耗问题。谐振腔的馈电通过具有2个特征阻抗为 HFSS软件对谐振器的电磁特性参数作了仿真分析。利用标准微细加工工艺在硅片上制造此复合结构谐振器和相关电路，利用键合技术完成结构组装，获得较光滑腔壁，降低损耗和提高谐振器性能。此类谐振器将为现代无线通信系统提供一种低成本、小尺寸以及制造平面型窄带滤波器和双工器的微型化解决方案。关键词：微机械谐振器；复合腔；薄膜微带线；耦合缝中图分类号：TN752文献标识码：A on Micromechanicalresonatorbased high--Q hybridcavity PAN Wu，CHENYan，LI Ying-liang Micro—electro—mechanic (Institute of System，ChongqingUniversityof Posts 400065，China) andTelecommunications，Chongqing with Abstract：A12．12GHzmicromechanicalresonator factorandsmallsizeis highquality ma— andrelevantmeasureddataareobtained．Theresonantisfilleda dielectricconstant cavity byhigh terialinordertoresolvethe1imitationofdielectricloss to isCOU— problemhigh qualityfactor．Energy intothe from and lineswithcharacteristicof50flvia pied cavity inputoutputmicrostrip impedance schemeofthe is forward ofthe and slots．Feeding cavity