基于分子源SrTiO3薄膜同质外延生长的Monte+Carlo模拟Ⅱ%3a模拟结果和讨论.pdfVIP

2005年10月 四川大学学报(自然科学版) Oct．2005 of$ichuan ScienceEdition) V01．42Issue2 第42卷增刊2 JoumaI University(Natural 文章编号：0490．6756(2005)022．0134-04 薄膜同质外延生长的 基于分子源SrTi03 Monte Carlo模拟II：模拟结果与讨论 张青磊“，朱基亮，谭浚哲，于光龙，吴家刚，朱建国，肖定全 (1ⅡlJrl大学材料科学系，成都610064) 摘要：根据本文作者提出的以SrTi03为代表的ABQ型氧化物薄膜成长机帝j以庭基于Monte Carlo方法的三雏模型取模拟算法(详见另文)，鳊制了模拟软件，模拟了不同沉积速率、不同的 基底温度下的薄膜组成．模拟过程中两个输入参数选为薄膜的沉积速率和沉积温度，并椎据一 SrO分子和Ti