纳米压痕试验测量不确定度评定.pdfVIP

VoL 第26卷第lO期 实验室研究与探索 26No．10 2007年10月 RESEARCHANDEXPLORATIONINLABORATORY Oct．2007 纳米压痕试验测量不确定度评定 王 滨， 王春亮， 杨 力， 沙 菲 (上海材料研究所，上海200437) 摘 要：影响纳米压痕试验结果的因素很多，导致分别计算A类和B类不确定度十分困难。该文采取 实验室间比对的方法，通过对熔融石英样品进行纳米压痕试验，得出压痕硬度和压痕模量的重复性限r 和复现性限R。．在r和R的基础上推导出纳米压痕硬度和模量扩展不确定度的近似计算公式，从而大 大简化了纳米压痕试验测量不确定度的评定。不确定度评定结果表明纳米压痕试验测量不确定度较 大；试验次数超过5次后，其对扩展不确定度的影响不大。 关键词j重复性限；复现性限；纳米压痕；不确定度评定 中图分类号：0213．2文献标识码：A 文章编号：1006—7167(2007)10—0167—04 Evaluationof inNanoindentation Uncertainty Testing WANG WANG YANG SHAFei Bin， Chun—liang， Li， ResearchInstituteof 200437，China) (Shanghai Materials，Shanghai difficultin Aand Bof dueto factorsact— Abstract：Itis tocalculate type uncertaintyrespectivelymany experience type onthetestresultsofnanoindentation．TheRoundRobinTestofintedaboratoriesonthenanoindentationtestoffused ing indentation silicon were and the the hardness limit(r)and limit(R)of samplesadoptedrepeatability reproducibility andtheindentationmoduluswereobtainedinthis the formulaof ofnano paper．Thenapproximateexpandeduncertainty indentationhardnessandthemoduluswerederived．Theformula evaluationof innanoin· largelysimplifies uncertainty of in still dentationmeasurement．theresultwhichindicates nanoindentationmea