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课程名称：微光机电系统 课程编码：7096401 课程学分：2学分 课程学时：32学时 适用专业：机械设计制造及其自动化 《微光机电系统》 Optical MEMS 教学大纲 一、课程性质与任务 本课程是机械设计制造及其自动化专业的一门专业方向选修课。微光机电系统是将电子的、机械的、光学的或其他功能相结合的微型集成工程系统。微光机电系统是一门多学科交叉的新兴学科，它涉及精密微机械、微电子、材料科学、微细加工、系统与控制等技术学科和物理、化学、力学和生物学等若干基础学科，将在21世纪的信息、生物医学等多方面导致人类认识和改造世界能力的重大突破，将给经济和国防建设带来深远影响。 二、课程内容及基本要求 第一章绪论讲述微光机电系统基本知识 第二章微光机电系统常用功能材料 第三章微光机电系统设计理论 讲述微尺度效应、设计微光机电系统所涉及到的主要基础科学，如：微系统中的光学、微系统中的力学、热学、电磁学等。 第四章微机械加工技术 讲述硅微细加工技术，光刻技术，高能束刻蚀技术，微细立体光刻技术，精密放电加工技术与超精密机械加工技术，微机械装配与集成。 第五章微传感器技术 讲述电量检测微传感器，机械量微传感器和物理量微传感器微元件的结构和工作原理。 第六章微致动器 讲述微马达，微谐振器，光电子器件，微能源发生器的工作原理和基本结构。 第七章微光机电系统应用技术 主要讲述微型特种机器人技术及应用