原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 29 卷 第 8 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.29 No.8
2010 年 8 月 ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS Aug. 2010
研 究 与 试 制
工艺条件对高纯氧化铍陶瓷金属化性能的影响
1 1 1 2 2
张韶华 ，钟朝位 ，张树人 ，管建波 ，韦方明
（1.电子科技大学 电子薄膜与集成器件重点实验室，四川 成都 610054; 2.国营799厂，四川 宜宾 644001)
摘要: 以W 为原料，MnO 、Al2O3 和 SiO2 为活化剂，采用烧结金属粉末法，于 1 450～1 500 ℃的还原性气氛
（氨分解气）中烧结，在99BeO （纯度大于99%的 BeO ）陶瓷基板表面形成了W 金属层，研究了活化剂含量、金
属化膜厚度以及 99BeO 陶瓷晶粒大小对其金属化性能的影响。结果表明：当添加的活化剂质量分数为 20% ，金属
化膜厚度约为 35 µm ，BeO 陶瓷晶粒大小约为39 µm 时，99BeO 陶瓷金属化层的抗拉强度达到最大值65 MPa。
关键词: 99BeO 陶瓷；金属化；晶粒大小；工艺因素
中图分类号: TM28 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （2010 ）08-0011-03
Study on high purity beryllium oxide ceramic
metallizating process improvement
1 1 1 2 2
ZHANG Shaohua , ZHONG Chaowei , ZHANG Shuren , GUAN Jianbo , WEI Fangming
(1. State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology
of China, Chengdu 610054, China; 2. No.799 State-owned Factory, Yibin 644001, Sichuan Province, China)
Abstract: Metalized layers were formed on the surface of 99BeO (purity99%) ceramics by the powder sintering
method, with W as the raw material and MnO, Al2O3 as well as SiO2 as the activator. And, the sintering process was
performed at 1 450～1 500 ℃in reducing atmosphere (cracked ammonia). The effects of content of the activator, thickness
of the metalized layer, and grain size of the 99BeO ceramics on the performance of the prepared metalized
文档评论（0）